1.一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置，其特征在于：包括机箱(1)，该机箱(1)上滑动设有雾化单元(2)、缓冲腔体(3)、加热单元(5)和尾气收集单元，所述雾化单元(2)与缓冲腔体(3)连通，石英腔体(4)的一端与所述缓冲腔体(3)连通，另一端与尾气收集单元连通，所述石英腔体(4)内设衬底样品，所述石英腔体(4)穿设在所述加热单元(5)并通过该加热单元(5)进行加热，前驱体溶液经过所述雾化单元(2)雾化后进入所述缓冲腔体(3)，由所述缓冲腔体(3)进入所述石英腔体(4)内进行薄膜制备。

2.根据权利要求1所述的一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置，其特征在于：在所述石英腔体(4)靠近缓冲腔体(3)的一端设水冷模块(8)，水冷模块(8)通过管道与水泵连接，以此保证水冷模块(8)区域的石英腔体(4)的温度接近室温。

3.根据权利要求1所述的一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置，其特征在于：所述雾化单元(2)包括滑动设于所述机箱(1)上的第一底板(21)，该第一底板(21)上设前驱液储罐(22)和雾化罐(24)，该雾化罐(24)和前驱液储罐(22)之间通过进液管(23)和回液管(25)连通，在所述进液管(23)和回液管(25)均设有蠕动泵(27)，所述雾化罐(24)通过输出管道(26)与所述缓冲腔体(3)连通。

4.根据权利要求3所述的一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置，其特征在于：在所述雾化罐(24)下方设散热风扇(7)。

5.根据权利要求1所述的一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置，其特征在于：所述加热单元(5)包括滑动设在所述机箱(1)上的第二底板(51)，该第二底板(51)上通过支撑柱支撑有加热体(52)，该加热体(52)的中部设有供所述石英腔体(4)水平穿过的通腔(53)，所述加热体(52)的两侧通过均匀分布的碘钨灯(54)进行加热，热电偶的测温部位与所述加热体(52)相接触。

6.根据权利要求5所述的一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置，其特征在于：在所述加热体(52)的上下两端分别设有隔热石棉盒(55)，所述隔热石棉盒(55)的外侧设热反射屏(56)。

7.根据权利要求6所述的一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置，其特征在于：在所述机箱(1)上设标尺(12)，所述第二底板(51)上设位置指针(58)，加热单元(5)在机箱(1)上移动时通过位置指针(58)和标尺(12)能够指示加热单元(5)的移动位置。

8.根据权利要求1所述的一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置，其特征在于：所述尾气收集单元包括滑动设于所述机箱(1)上的第三底板(61)，该第三底板(61)上设尾气收集腔体(6)，所述石英腔体(4)与该尾气收集腔体(6)连通，所述尾气收集腔体(6)的排气口通过U型管道(63)与微型管道风机(65)连通。

9.根据权利要求1所述的一种紧凑型雾化辅助CVD薄膜制备装置，其特征在于：在所述U型管道(63)与微型管道风机(65)之间设风量调节器(69)。