1.一种用于制备氮化铝预制料的坩埚装置,其特征在于,所述的用于制备氮化铝预制料的坩埚装置为钨材料制成,由坩埚和坩埚组件组成,坩埚组件为可拆卸的结构;坩埚为带底的中空圆柱,由坩埚体和坩埚盖组成;
坩埚体与坩埚盖相咬合,坩埚体上部口壁上有凹槽结构,坩埚盖上有与凹槽结构相匹配的凸起结构,提供预制料制备或晶体生长的区域,凸起结构与凹槽结构接触,并且凸起结构的长度等于凹槽结构的深度,凸起结构的横截面是长方形,坩埚体内的坩埚空腔呈柱体形状;
坩埚组件为圆桶形,上、下两端厚、中间薄,其横截面为一带凹槽的长条形,最上 端与坩埚体凹槽结构最下端水平,最下端与坩埚体底壁接触,坩埚组件横截面由最厚区域,最薄区域以及中间区域组成,上下对称分布,特征点1和特征点2、特征点5和特征点6之间的区域为最厚区域,特征点3和特征点4之间的区 域为最薄区域,特征点2和特征点3、特征点4和特征点5之间的区域为中间区域;坩埚组件最厚区域位于坩埚组件的两端,厚度等于坩埚体壁的厚度,为10mm;坩埚组件的最薄区域位于坩埚组件的中心位置的两侧,最厚区域的厚度是最薄区域的厚度的4倍;最厚区域、最薄区域、中间区域的长度占总长度的10%,20%和70%。
2.一种用于制备氮化铝预制料的坩埚装置,其特征在于,所述的用于制备氮化铝预制料的坩埚装置为碳化钽材料,由坩埚和坩埚组件组成,坩埚组件为可拆卸的结构;坩埚为带底的中空圆柱,由坩埚体和坩埚盖组成;
坩埚体与坩埚盖相咬合,坩埚体上部口壁上有凹槽结构,坩埚盖上有与凹槽结构相匹配的凸起结构,提供预制料制备或晶体生长的区域,凸起结构与凹槽结构接触,并且凸起结构的长度大于凹槽结构的深度,凸起结构的横截面为锥形,坩埚体内的坩埚空腔呈柱体形状;坩埚组件为圆桶形,上、下两端厚、中间薄,最上端与坩埚体凹槽结构110最下端水平,最下端与坩埚体底壁接触,坩埚组件横截面由最厚区域,最薄区域以及中间区域组成,上下对称分布;特征点1和特征点2重合、特征点5和特征点6重合,两处重合点处即为最厚区域,特征点3和特征点4之间的区域为最薄区域,特征点2与特征点3、特征点5与特征点4之间的区域为中间区域;坩埚组件最厚区域位于坩埚组件的两端点,厚度为8mm,坩埚体壁的厚度为
10mm,最厚区域的厚度是最薄区域厚度的4倍,特征点2与特征点3、特征点5与特征点4之间的连接线为均匀变化的弧线,最薄区域的长度占总长度的50%。
3.一种用于制备氮化铝预制料的坩埚装置,其特征在于,所述的用于制备氮化铝预制料的坩埚装置为碳化钽材料,由坩埚和坩埚组件组成,坩埚组件为可拆卸的结构;坩埚为带底的中空圆柱,由坩埚体和坩埚盖组成;
坩埚组件为圆桶形,上、下两端厚、中间薄,最上端与坩埚体凹槽结构最下端水平,最下端与坩埚体底壁接触,坩埚组件横截面由最厚区域,最薄区域以及中间区域组成,上下对称分布;特征点1、特征点2和特征点3重合、特征点4、特征点5和特征点6重合,两处重合点处即为最厚区域,中心位置为最薄区域,特征点1、特征点4与中心点之间的区域为中间区域,坩埚组件最厚区域位于坩埚组件的两端点,厚度10mm,坩埚壁厚度为20mm;坩埚组件的最薄区域位于坩埚组件的中心位置,最厚区域的厚度是最薄区域厚度的5倍,最厚点处与最薄点处的连接线为均匀变化的弧线。