1.一种谐振式石墨烯气体压力传感器,包括电极、石墨烯和基底,其特征在于,所述电极分为第一电极(1)、第二电极(2)和第三电极(3),所述石墨烯分为单层石墨烯(4)和多层石墨烯(5),所述的基底分为中部设有空腔的二氧化硅基底(8)和硅基底(9);所述第三电极(3)卡在二氧化硅基底(8)空腔的底部,并置于硅基底(9)之上;所述单层石墨烯(4)置于氧化硅基底(8)之上,与第三电极(3)之间形成第一空腔(11);所述第一电极(1)和第二电极(2)卡在缓冲层(13)中,并置于单层石墨烯(4)之上;所述多层石墨烯(5)通过中部设有空腔的第一绝缘层(6)置于缓冲层(13)之上;所述多层石墨烯(5)与单层石墨烯(4)之间形成第二空腔(12);所述第一空腔(11)和第二空腔(12)内均填充有气体。
2.根据权利要求1所述的谐振式石墨烯气体压力传感器,其特征在于,所述谐振式石墨烯气体压力传感器还包括设置在多层石墨烯(5)之上的第二绝缘层(7),所述第二绝缘层(7)中部设有空腔,用于多层石墨烯的固定。
3.根据权利要求2所述的谐振式石墨烯气体压力传感器,其特征在于,还包括固定下外壳(14),所述固定下外壳(14)设有三个通孔,分别用于第一电极(1)、第二电极(2)、第三电极(3)与外部集成电路的连接与通信,所述所述谐振式石墨烯气体压力传感器置于固定下外壳(14)内。
4.根据权利要求3所述的谐振式石墨烯气体压力传感器,其特征在于,还包括中部设有空腔的固定上外壳(10),所述固定上外壳(10)盖在第二绝缘层(7)之上,与固定下外壳(14)组成一个盒体,便于内部器件的更换与维修。
5.根据权利要求1‑4任一项所述的谐振式石墨烯气体压力传感器,其特征在于,所述第一空腔(11)和第二空腔(12)内的气体为惰性气体。
6.根据权利要求1‑4任一项所述的谐振式石墨烯气体压力传感器,其特征在于,所述多层石墨烯(5)为无缺陷或较少缺陷的石墨烯的层叠,其层数为3~5层。
7.根据权利要求1‑4任一项所述的谐振式石墨烯气体压力传感器,其特征在于,所述单层石墨烯(4)为无缺陷或较少缺陷的石墨烯,所述第一绝缘层(6)和第二绝缘层(7)均无机非金属材料,所述二氧化硅基底(8)中心空腔尺寸为微米级或纳米级。
8.根据权利要求7所述的谐振式石墨烯气体压力传感器,其特征在于,所述二维无机非金属材料可以为环氧树脂、酚醛树脂、玻璃或陶瓷材料。
9.根据权利要求2所述的谐振式石墨烯气体压力传感器,其特征在于,所述第一绝缘层(6)、第二绝缘层(7)、二氧化硅基底(8)和固定上外壳(10)的中心空腔形状为圆柱形、矩形或三角形。
10.根据权利要求1‑4任一项所述的谐振式石墨烯气体压力传感器,其特征在于,所述第一电极(1)和第二电极(2)蒸镀固定在单层石墨烯4之上。