1.一种石墨烯等离激元气体传感器,其特征在于,包括基底(1)、石墨烯层(2)和贵金属颗粒层(3),所述基底(1)、所述石墨烯层(2)和所述贵金属颗粒层(3)由下至上依次设置,所述贵金属颗粒层(3)包括多个贵金属颗粒(301),所述贵金属颗粒(301)位于所述石墨烯层(2)的上方。
2.根据权利要求1所述的石墨烯等离激元气体传感器,其特征在于,所述石墨烯层(2)和所述贵金属颗粒层(3)之间设有介质层(4),所述介质层(4)的介质为光催化材料。
3.根据权利要求2所述的石墨烯等离激元气体传感器,其特征在于,所述介质层(4)为TiO2层。
4.根据权利要求2所述的石墨烯等离激元气体传感器,其特征在于,所述基底(1)包括重掺杂的硅衬底(101)和SiO2层(102),所述硅衬底(101)和所述SiO2层(102)由下至上层叠设置。
5.根据权利要求4所述的石墨烯等离激元气体传感器,其特征在于,还包括背电极(5),所述石墨烯层(2)的面积小于所述SiO2层(102)的面积,使所述SiO2层(102)具有未被所述石墨烯层(2)覆盖的部分,所述SiO2层(102)设有镂空区域,所述镂空区域位于所述SiO2层(102)未被所述石墨烯层(2)覆盖的部分,所述背电极(5)设于所述镂空区域处。
6.根据权利要求1所述的石墨烯等离激元气体传感器,其特征在于,所述石墨烯层(2)设有多个凹槽(201),多个所述凹槽(201)形成周期性纳米结构。
7.根据权利要求1所述的石墨烯等离激元气体传感器,其特征在于,所述贵金属颗粒(301)为Au或Ag纳米颗粒。
8.一种石墨烯等离激元气体传感器的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤S1、在基底的上表面制备石墨烯层;
步骤S2、在石墨烯层上沉积贵金属层;
步骤S3、将贵金属层的贵金属颗粒制备成贵金属纳米颗粒。
9.根据权利要求8所述的石墨烯等离激元气体传感器的制作方法,其特征在于,在步骤S2中,沉积贵金属层前,在石墨烯层上先沉积一层光催化材料形成介质层,使石墨烯层、介质层和贵金属层由下至上依次设置。
10.根据权利要求8所述的石墨烯等离激元气体传感器的制作方法,其特征在于,在步骤S2中,沉积贵金属层前,通过刻蚀在石墨烯层上制作周期性纳米结构。