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专利号: 2021226702059
申请人: 沈阳泽康检测服务有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上方滑动连接有滑动台(2),所述滑动台(2)在底座(1)上方沿前后方向滑动,所述滑动台(2)上方固定有两组固定柱(3),两组所述固定柱(3)之间连接有丝杆(5),所述丝杆(5)的外部套设有螺纹套块(6),所述螺纹套块(6)的底部固定有固定板(7),所述固定板(7)上固定有气缸(8),所述气缸(8)的输出端连接伸缩杆(9),所述伸缩杆(9)的另一端连接有用于安装扫描电镜的安装板(10)。

2.根据权利要求1所述的一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件,其特征在于:所述底座(1)的上方固定有两组滑条(11),两组所述滑条(11)相互对称设置,所述滑动台(2)的底部开设有两组滑槽(12),两组所述滑条(11)分别穿过两组滑槽(12)。

3.根据权利要求1所述的一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件,其特征在于:所述丝杆(5)的一端穿过所述固定柱(3)的一侧并连接有电机(4)。

4.根据权利要求3所述的一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件,其特征在于:远离电机(4)的另一组所述固定柱(3)的内侧开设有固定槽(13),所述丝杆(5)的另一端伸入固定槽(13)内部,所述固定槽(13)内壁上均匀设有多组半球(14),所述半球(14)的球面与丝杆(5)之间滚动连接。

5.根据权利要求1所述的一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件,其特征在于:所述丝杆(5)上设有用于对螺纹套块(6)的运动方向进行导向使其在两组固定柱(3)之间做往复运动的导向机构。

6.根据权利要求3所述的一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件,其特征在于:所述底座(1)内部设有控制器,所述控制器的输出端分别连接电机(4)和气缸(8)。