1.一种防尘式晶圆加工切面打磨装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)顶部四角设置有支撑柱(2),所述支撑柱(2)顶部设置有加工台(3),所述加工台(3)顶部中间设置有放置板(4),所述放置板(4)顶部中间开设有放置槽(5),所述加工台(3)底部中间设置有固定机构,固定机构与放置槽(5)相连通,所述加工台(3)顶部两侧对称设置有竖板(6),所述竖板(6)顶部设置有横板(7),所述横板(7)顶部中间设置有第一风机(8),所述竖板(6)靠近放置板(4)的一侧设置有导风机构,且导风机构与第一风机(8)连接,所述第一风机(8)后侧通过导管连接有回收箱(9),所述回收箱(9)设置于横板(7)顶部,所述横板(7)底部中间设置有液压缸(10),所述液压缸(10)底部的输出端设置有电机(11),所述电机(11)底部的输出轴连接有打磨片(12)。
2.根据权利要求1所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置,其特征在于:固定机构包括通孔(13)、第二导风罩(14)、固定组件、第二连接管(15)与第二风机(16),所述第二风机(16)设置于底板(1)顶部中间,所述通孔(13)分别环形阵列开设于放置板(4)内以及加工台(3)内,且所述通孔(13)上下贯通放置板(4)以及加工台(3),且所述放置板(4)上的通孔(13)与加工台(3)上的通孔(13)相连通,所述第二导风罩(14)设置于加工台(3)底部中间,且所述第二导风罩(14)与通孔(13)相对应,所述第二连接管(15)连接于第二导风罩(14)与第二风机(16)之间。
3.根据权利要求2所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置,其特征在于:固定组件包括固定板(17)与固定栓(18),所述固定板(17)对称设置于第二导风罩(14)两侧,且所述固定板(17)与加工台(3)相贴合,所述固定栓(18)设置于固定板(17)底部,且所述固定栓(18)尾端贯穿固定板(17)与加工台(3)螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置,其特征在于:导风机构包括第一导风罩(19)与第一连接管(20),所述第一导风罩(19)设置于竖板(6)与放置板(4)相对应的一侧,所述第一连接管(20)一端与第一导风罩(19)相连通,且所述第一连接管(20)另一端贯穿竖板(6)与第一风机(8)相连通。
5.根据权利要求4所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置,其特征在于:所述第一导风罩(19)上下两侧分别与横板(7)以及加工台(3)连接。
6.根据权利要求5所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置,其特征在于:所述打磨片(12)与放置槽(5)相对应,且所述打磨片(12)与放置板(4)之间留有间隙。