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专利号: 2021222452321
申请人: 苏州八术激光技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆贴膜装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部固定连接有工作台(2),所述工作台(2)前后两侧均固定连接有驱动箱(3),所述驱动箱(3)一侧固定连接有伺服电机(4),所述驱动箱(3)顶部通过支撑杆固定连接有压膜框(5),所述压膜框(5)顶部固定连接有第一电动伸缩杆(6),所述压膜框(5)一侧设有晶圆夹持盘(7),所述晶圆夹持盘(7)一侧设有滑轨,所述滑轨滑动连接有立柱,所述立柱顶部固定连接有横板,所述立柱一侧固定连接有第二电动伸缩杆(8),所述第二电动伸缩杆(8)末端与工作台(2)顶部固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置,其特征在于:所述底座(1)底部四角处固定连接有支腿,所述底座(1)内部设有收纳腔(9),所述收纳腔(9)内部滑动连接有晶圆置放板,所述晶圆置放板的数量为两个。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置,其特征在于:所述伺服电机(4)输出端固定连接有丝杆(10),所述丝杆(10)末端与驱动箱(3)内壁转动连接,所述丝杆(10)外围螺纹连接有螺纹套(11),所述螺纹套(11)底部固定连接有滑套,所述滑套滑动连接有滑杆,所述螺纹套(11)顶部与支撑杆固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置,其特征在于:所述第一电动伸缩杆(6)末端固定连接有金属框(12),所述金属框(12)两侧与压膜框(5)内壁滑动连接,所述金属框(12)内部转动连接有压辊(13),所述压辊(13)为软质橡胶材质。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置,其特征在于:所述晶圆夹持盘(7)内部设有置放槽(14),所述晶圆夹持盘(7)四角处固定连接有第三电动伸缩杆(15),所述第三电动伸缩杆(15)末端贯穿置放槽(14)延伸至置放槽(14)内部,所述第三电动伸缩杆(15)末端固定连接有弧形夹持板(16)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜装置,其特征在于:所述横板顶部固定连接有第四电动伸缩杆(17),所述第四电动伸缩杆(17)末端固定连接有固定板,所述固定板底部固定连接有缓冲弹簧(18),所述缓冲弹簧(18)底部固定连接有粘尘板(19),所述缓冲弹簧(18)内部套设连接有定位杆(20),所述定位杆(20)底部与粘尘板(19)固定连接,所述定位杆(20)与固定板滑动连接,所述定位杆(20)末端位于横板上方,所述定位杆(20)与横板滑动连接。