1.一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套，包括内套(1)和套设在内套(1)外部的外套(2)，其特征在于：所述外套(2)的内部开设有油孔(3)，所述内套(1)的内壁上开设有与油孔(3)连通的油槽(4)，所述内套(1)的内壁上还设置有垫圈(5)；

所述内套(1)包括相互固定连接的摩擦层(11)、加强层(12)和连接层(13)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套，其特征在于：所述油槽(4)的数量为若干条，呈螺旋状排布在内套(1)的内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套，其特征在于：所述摩擦层(11)的管壁左右两侧向摩擦层(11)的外部凹陷有安装槽，垫圈(5)固定安装在安装槽的内部。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套，其特征在于：所述加强层(12)由金属材料交错固定组成，呈网状结构。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套，其特征在于：所述垫圈(5)为弹性圈，紧密连接轴承座的外壁。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路清洗设备用高强度防裂纹轴套，其特征在于：所述外套(2)和内套(1)焊接而成的轴套整体厚度为1.5‑2.5CM。