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专利号: 2021212501266
申请人: 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种集成电路生产设备的插入式固定脚支架,包括加工台(1)、定位柱(2)与缓冲垫块(3),其特征在于,所述定位柱(2)活动穿插于加工台(1)的顶面四角位置,所述缓冲垫块(3)紧密粘贴于加工台(1)的顶面中心位置;

所述加工台(1)的顶面开设有螺纹孔(4),所述定位柱(2)的底端内嵌式固定有螺杆(5),所述加工台(1)的底面两侧位置一体式焊接有支撑架(6),且加工台(1)的底面前后两侧开设有横向安装槽(7),所述横向安装槽(7)的内部固定安装有横向滑轨(8),所述横向滑轨(8)的右侧活动穿插有横向滑条(9),所述加工台(1)的底面左右两侧开设有纵向安装槽(10),所述纵向安装槽(10)的内部固定安装有纵向滑轨(11),所述纵向滑轨(11)的后端活动穿插有纵向滑条(12),所述加工台(1)的底面中心位置固定焊接有加固支撑脚(13)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产设备的插入式固定脚支架,其特征在于,所述定位柱(2)设置有四组,且四组定位柱(2)呈“矩形”阵列式分布于加工台(1)顶面边沿,所述定位柱(2)剖面形状为“等腰梯形”,且定位柱(2)为橡胶材质的定位柱(2)。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产设备的插入式固定脚支架,其特征在于,所述螺杆(5)通过热熔胶注封于定位柱(2)的底端,且螺杆(5)通过螺纹孔(4)螺纹穿插于加工台(1)内,所述螺杆(5)与螺纹孔(4)的形状相互吻合。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路生产设备的插入式固定脚支架,其特征在于,所述加工台(1)以其中心点等分为四块,所述四块加工台(1)左右两部分通过横向滑轨(8)与横向滑条(9)活动连接,且四块加工台(1)的前后两部分通过纵向滑轨(11)与纵向滑条(12)活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路生产设备的插入式固定脚支架,其特征在于,所述加固支撑脚(13)设置有四条,且四条加固支撑脚(13)呈“矩形”阵列式分布于加工台(1)的底面中心位置。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路生产设备的插入式固定脚支架,其特征在于,所述缓冲垫块(3)的高度低于定位柱(2)的高度,且缓冲垫块(3)为硅胶材质的缓冲垫块(3)。