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专利号: 2021209781064
申请人: 江苏阀邦半导体材料科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种半导体制造用阀门毛刺打磨装置,包括操作台(1)、支撑侧板(2)、支撑横板(3)、方便移动夹持组件(4)、控制面板(5)、承托板(6)以及支撑柱(7),其特征在于:所述操作台(1)前端面左侧安装有控制面板(5),所述操作台(1)上端面左右两侧对称焊接有支撑侧板(2),所述支撑侧板(2)上端面焊接有支撑横板(3),所述操作台(1)上侧设置有方便移动夹持组件(4),所述操作台(1)下端面左右两侧对称焊接有支撑柱(7),所述支撑柱(7)环形侧面左侧焊接有承托板(6);

所述方便移动夹持组件(4)包括电动伸缩杆(41)、升降板(42)、电机(43)、抛光刷(44)、横向滑座(45)、限位导轨(46)、螺纹杆(47)、定位侧板(48)以及夹持板(49),所述操作台(1)上端面中间位置贴合有限位导轨(46),所述限位导轨(46)上端面贴合有横向滑座(45),所述横向滑座(45)上端面左右两侧对称焊接有定位侧板(48),所述定位侧板(48)内部中间位置啮合有螺纹杆(47),所述螺纹杆(47)左侧安装有夹持板(49),所述支撑横板(3)下端面中间位置装配有电动伸缩杆(41),所述电动伸缩杆(41)下端面安装有升降板(42),所述升降板(42)下端面中间位置装配有电机(43),所述电机(43)下端面套装有抛光刷(44)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门毛刺打磨装置,其特征在于:所述操作台(1)上端面中间位置开设有限位凹槽(12),所述限位导轨(46)下端面中间位置设置有纵向滑座(461),且纵向滑座(461)与限位凹槽(12)相匹配,所述限位导轨(46)前端面下侧焊接有第一握把,所述横向滑座(45)前端面下侧焊接有第二握把。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门毛刺打磨装置,其特征在于:所述操作台(1)内部左右两侧对称开设有导流通腔(11),所述承托板(6)上端面卡装有增强塑料盒(61),所述增强塑料盒(61)左右端面对称开设有抠槽。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门毛刺打磨装置,其特征在于:所述螺纹杆(47)等规格啮合有两组,所述螺纹杆(47)右端面焊接有转盘(471),且转盘(471)等规格焊接有两组,所述定位侧板(48)等规格焊接有两组,两组所述定位侧板(48)内部均设置有内螺纹通孔,且内螺纹通孔与螺纹杆(47)相啮合。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门毛刺打磨装置,其特征在于:所述螺纹杆(47)左端面设置有圆形连接块,且圆形连接块等规格设置有两组,所述夹持板(49)等规格安装有两组,所述夹持板(49)右端面中间位置开设有圆形凹槽,且圆形凹槽与圆形连接块相匹配,所述夹持板(49)右端面中间位置安装有防脱盖,且防脱盖等规格安装有两组。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门毛刺打磨装置,其特征在于:所述升降板(42)上端面左右两侧对称设置有导向杆(421),所述支撑横板(3)内部左右两侧对称有限位通孔,且限位通孔与导向杆(421)相匹配。

7.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门毛刺打磨装置,其特征在于:所述电动伸缩杆(41)和电机(43)均通过导线与控制面板(5)相连接,所述控制面板(5)通过导线与外界电源相连接,所述支撑柱(7)下端面焊接有固定底板(71)。