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专利号: 2021116784663
申请人: 华侨大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.激光诱导等离子体进行仿形加工装置,其特征在于:包括激光器(2)、透镜组件、透明工件(6)、工作台(9)、可升降夹具(10)和异形靶材(8);该透明工件(6)安装在可升降夹具(10)且通过可升降夹具(10)带动透明工件(6)上下平移,该异形靶材(8)固装在工作台(9)且异形靶材(8)具有基面和凸设于基面的模型,该透明工件(6)和异形靶材(8)基面上下平隔布置,该激光器(2)发出的激光束(3)经透镜组件、透明工件(6)辐射聚焦在异形靶材(8)并与异形靶材(8)发生相互作用产生等离子体,等离子体向透明工件(6)下表面转移且透明工件(6)上下平移以在透明工件(6)下表面刻蚀仿形。

2.根据权利要求1所述的激光诱导等离子体进行仿形加工装置,其特征在于:该透镜组件包括扫描振镜(4)和聚焦透镜(5),该激光器(2)发出激光束(3)经扫描振镜(4)和聚焦透镜(5)再至透明工件(6)。

3.根据权利要求1所述的激光诱导等离子体进行仿形加工装置,其特征在于:该工作台(9)为可升降工作台,该可升降夹具(10)设直线电机且通过直线电机控制升降。

4.根据权利要求3所述的激光诱导等离子体进行仿形加工装置,其特征在于:还包括电脑控制系统(1)和相机(7),该电脑控制系统(1)连接激光器(2)、相机(7)、工作台(9)和可升降夹具(10),依据相机(7)拍摄的异形靶材(8)和透明工件(6)之间隙分布变化情况调整工作台(9)和可升降夹具(10)中至少之一位置,保证异形靶材(8)和透明工件(6)之间隙为定值。

5.根据权利要求1所述的激光诱导等离子体进行仿形加工装置,其特征在于:该异形靶材(8)材质由高原子序数的元素组成。

6.根据权利要求1所述的激光诱导等离子体进行仿形加工装置,其特征在于:该透明工件(6)和异形靶材(8)上下间隔的间距为0.05‑0.5mm。

7.激光诱导等离子体进行仿形加工方法,其特征在于:包括:将透明工件(6)安装在可升降夹具(10),将异形靶材(8)安装在工作台(9);

激光器(2)发出的激光束(3)经透镜组件、透明工件(6)辐射聚焦在异形靶材(8)并与异形靶材(8)发生相互作用产生等离子体,等离子体向透明工件(6)下表面转移以刻蚀加工;

透明工件(6)上下平移且保证异形靶材(8)和透明工件(6)之间隙为定值以在透明工件(6)下表面仿形。