1.一种低损耗氟氧化物微波介质陶瓷,其特征在于:所述微波介质陶瓷的表达式为MgTiO2F2。
2.根据权利要求1所述的一种低损耗氟氧化物微波介质陶瓷,其特征在于:所述微波介质陶瓷的相对介电常数εr为13.5~14.7,品质因数Qf为132850~150500GHz,谐振频率温度系数为–42~–56ppm/℃。
3.一种制备权利要求1‑2任意一项所述的低损耗氟氧化物微波介质陶瓷的方法,其特征在于:包括以下步骤:以MgF2与TiO2为原料;将MgF2与TiO2经第一次球磨混合后,于800~
1000 ℃下预烧;将预烧产物经第二次球磨后,于1100~1200℃下烧结,制成所述微波介质陶瓷。
4.根据权利要求3所述的一种低损耗氟氧化物微波介质陶瓷的制备方法,其特征在于:所述MgF2和TiO2的纯度均不低于99.99%。
5.根据权利要求3所述的一种低损耗氟氧化物微波介质陶瓷的制备方法,其特征在于:所述TiO2与MgF2的混合质量比为1:(1.05‑1.08)。
6.根据权利要求3所述的一种低损耗氟氧化物微波介质陶瓷的制备方法,其特征在于:预烧时,以3 8℃/min的速度升温至800~1000℃预烧2 4h。
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7.根据权利要求3所述的一种低损耗氟氧化物微波介质陶瓷的制备方法,其特征在于:第二次球磨后,将得到的球磨物与粘结剂混合后压制为生坯,对所述生坯进行烧结。
8.根据权利要求7所述的一种低损耗氟氧化物微波介质陶瓷的制备方法,其特征在于:所述粘结剂包括4~6wt%的聚乙烯醇溶液。
9.根据权利要求7所述的一种低损耗氟氧化物微波介质陶瓷的制备方法,其特征在于:对所述生坯进行烧结时,首先以5 15℃/min的速度升温至550 650℃,保温1 3h;然后以3 8~ ~ ~ ~
℃/min的速度升温至1100 1200℃烧结2 4h;然后以0.5 1.5℃/min的速度降温至850 950~ ~ ~ ~
℃,最后降至室温。
10.根据权利要求3所述的一种低损耗氟氧化物微波介质陶瓷的制备方法,其特征在于:第一次球磨或/和第二次球磨时,待球磨物料、球磨介质、无水乙醇的混合质量比为1:(5‑7):(3‑5),球磨速度为180‑220r/min。