1.基于改进开口谐振环的高灵敏度微波微流控传感器,为双端口器件;其特征在于:为具有顶层、中间层及底层的三层结构;所述顶层包括两条微带线、金属片、一个IDC‑SRR结构及两个SMA连接头,所述微带线具有一个输入端口与一个输出端口,所述输入端口与所述输出端口均与所述微带线连接,且所述输入端口与所述输出端口分别用于连接所述SMA连接头,所述SMA连接头与矢量网络分析仪相连通,所述IDC‑SRR结构上面置有一个PDMS,所述PDMS内部形成有微流体通道;所述中间层包括具有四个金属通孔的介质板;所述底层包括边缘为金属层的金属薄片、两条微带线及SRR结构,所述金属薄片中间形成刻蚀区;四个所述金属通孔连通所述顶层与所述底层;所述SRR结构一端通过两个金属通孔连接到顶层的IDC‑SRR的交指电容的两侧,另一端通过另外两个金属通孔连接到顶层的金属片的两端。
2.根据权利要求1所述的基于改进开口谐振环的高灵敏度微波微流控传感器,其特征在于:所述微带线的宽度为1.44mm,且在中间耦合部分缩小宽度至0.4mm。
3.根据权利要求1所述的基于改进开口谐振环的高灵敏度微波微流控传感器,其特征在于:所述IDC‑SRR结构与所述SRR结构的微带宽度均为0.2mm,其中交指结构的交指长度为
2.4mm,指宽为0.2mm,缝隙宽度为0.2mm,交指数为8根。
4.根据权利要求1所述的基于改进开口谐振环的高灵敏度微波微流控传感器,其特征在于:所述刻蚀区呈矩形设置。
5.根据权利要求4所述的基于改进开口谐振环的高灵敏度微波微流控传感器,其特征在于:呈矩形设置的所述刻蚀区的面积大于谐振器的平面面积。
6.根据权利要求1所述的基于改进开口谐振环的高灵敏度微波微流控传感器,其特征在于:所述介质板为罗杰斯4350系列的介质板,其介电常数为3.66,损耗角正切为0.004,厚度是0.762mm。
7.根据权利要求6所述的基于改进开口谐振环的高灵敏度微波微流控传感器,其特征在于:介质板呈方形结构设置。
8.根据权利要求1所述的基于改进开口谐振环的高灵敏度微波微流控传感器,其特征在于:所述微带线与所述SMA连接头之间焊接连接。