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一种磁场辅助阴极电弧离子镀蒸发源
￥14000
专利号： 2021114332267
申请人： 青岛科技大学
专利类型：发明专利
专利状态：已下证
更新日期：2025-12-08
缴费截止日期： 暂无
国家局暂未公布该信息
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