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专利号: 202111260477X
申请人: 江西龙芯微科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-11-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.晶圆级封装结构,包括模塑料体(1),其特征在于,所述模塑料体(1)的底部设有芯片槽(2)和环形槽(8),芯片槽(2)位于环形槽(8)的内侧,芯片槽(2)内设有芯片(3),所述芯片(3)的底部设有电极(4),模塑料体(1)的底部设有金属布线层(5),所述模塑料体(1)的底部设有封盖层(12),封盖层(12)的底部设有绝缘层(13),绝缘层(13)上安装有绝缘层(13)和封盖层(12)之间设有凸点下金属层(6),所述凸点下金属层(6)的顶部分别与电极(4)和金属布线层(5)连接,所述凸点下金属层(6)的底部设有焊球(7),所述封盖层(12)上设有通孔一(10),绝缘层(13)上设有与通孔一(10)对接的通孔二(11),所述通孔一(10)与环形槽(8)连通,芯片槽(2)和环形槽(8)之间设有散热片(9)。

2.根据权利要求1所述的晶圆级封装结构,其特征在于,所述通孔一(10)和通孔二(11)的截面均为圆形结构,通孔一(10)和通孔二(11)的截面直径相同。

3.根据权利要求1所述的晶圆级封装结构,其特征在于,所述电极(4)和金属布线层(5)的底部位于同一平面内。

4.根据权利要求1所述的晶圆级封装结构,其特征在于,所述散热片(9)为多个,芯片槽(2)和环形槽(8)之间设有多个用于散热片(9)安装的安装孔,多个安装孔的长度不同。

5.晶圆级封装结构的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、将模塑料体(1)分别开设芯片槽(2)和环形槽(8);

S2、在芯片槽(2)和环形槽(8)之间开设多个安装孔,并把散热片(9)安装于安装孔内;

S3、在芯片槽(2)内安装有芯片(3),然后在模塑料体(1)的底部设置金属布线层(5);

S4、在封盖层(12)设置用于放置芯片(3)上的电极的开口一和用于放置金属布线层(5)的开口二,然后设置通孔一(10)和用于放置凸点下金属层(6)的连通孔,连通孔与开口一和开口二连通;

S5、将封盖层(12)设置在模塑料体(1)的底部;

S6、取绝缘层(13)开设与通孔一(10)对接的通孔二(11),并安装与电极(4)和金属布线层(5)连接的凸点下金属层(6);

S7、将绝缘层(13)安装于封盖层(12)的底部,同时使得凸点下金属层(6)的顶部进入到连通孔,凸点下金属层(6)分别与电极(4)和金属布线层(5)接触,通孔一(10)与通孔二(11)对接;

S8、在凸点下金属层(6)上制作焊球(7)。

6.根据权利要求5所述的晶圆级封装结构,其特征在于,通过激光钻孔的工艺形成开口一、开口二、通孔一(10)通孔二(11)。

7.根据权利要求1所述的晶圆级封装结构,其特征在于,所述绝缘层(13)上开设有适配孔,凸点下金属层(6)安装适配孔内,且凸点下金属层(6)的顶部贯穿适配孔。