1.一种具有双侧面超结槽栅LDMOS器件,其特征在于,该器件包括:源极P+区(1)、源极N+区(2)、P‑body(3)、漂移区(6)、漏极N+区(7)、漏极N‑buffer区(8)、漏极P+区(9)、P型辅助耗尽区(10)、槽栅P+接触区(11)和二氧化硅隔离层(12);其中,所述源极P+区(1)、源极N+区(2)、P‑body(3)、漂移区(6)、漏极N‑buffer区(8)和漏极N+区(7)从左至右依次排列组成LDMOS导电区;所述槽栅P+接触区(11)、P型辅助耗尽区(10)、漏极N‑buffer区(8)、漏极N+区(7)和漏极P+区(9)从左至右依次排列组成双侧面超结槽栅区;所述二氧化硅隔离层(12)用于分离双侧面超结槽栅区和LDMOS导电区,LDMOS导电区位于二氧化硅隔离层(12)内侧,双侧面超结槽栅区位于二氧化硅隔离层(12)外侧。
2.根据权利要求1所述的具有双侧面超结槽栅LDMOS器件,其特征在于,所述漂移区(6)包括左右排列的漂移区Ⅰ(6‑1)和漂移区Ⅱ(6‑2);其中漂移区Ⅰ(6‑1)掺杂浓度大于漂移区Ⅱ(6‑2)的掺杂浓度。
3.根据权利要求1所述的具有双侧面超结槽栅LDMOS器件,其特征在于,所述P型辅助耗尽区(10)包括左右排列的P型辅助耗尽区Ⅰ(10‑1)、P型辅助耗尽区Ⅱ(10‑2);其中P型辅助耗尽区Ⅰ(10‑1)的掺杂浓度小于P型辅助耗尽区Ⅱ(10‑2)的掺杂浓度。
4.根据权利要求1 3中任意一项所述的具有双侧面超结槽栅LDMOS器件,其特征在于,
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该器件还包括位于双侧面超结槽栅区和LDMOS导电区下侧的埋氧层(4),以及位于埋氧层(4)下侧的衬底(5)。