1.一种半导体生产用冷却装置,包括外壳体(1)和安装在外壳体(1)上端的制冷机构(2),其特征在于:外壳体(1)的下端固定安装有支撑腿(3),外壳体(1)的一侧设置有出料口(4),出料口(4)的外端固定安装有出料滑道(5),外壳体(1)的内部固定安装有支撑机构(6),支撑机构(6)的上端固定安装有顶盖机构(7);
制冷机构(2)包括固定安装在外壳体(1)上端的制冷外壳(21)和开设在制冷外壳(21)上表面的进气管道(22),进气管道(22)的上端开口直径大于下端开口直径,且外壳体(1)的内部固定安装有冷却腔(23),冷却腔(23)设置在进气管道(22)的外表面,进气管道(22)的一侧贯穿安装有风管(24),风管(24)的一侧外接风机,风机设置在外壳体(1)的内部,风管(24)的内部设置有冷却水管(25),冷却水管(25)的一端设置在冷却腔(23)的内部,另一端贯穿风管(24)和外壳体(1)与顶盖机构(7)固定连接,风管(24)延伸至外壳体(1)内部的一侧铰接安装有密封盖(26),且进气管道(22)的内部固定安装有过滤网(27)。
2.如权利要求1所述的一种半导体生产用冷却装置,其特征在于:外壳体(1)的内部固定安装有竖板(11),竖板(11)的两侧固定安装有折弯杆(12),折弯杆(12)设置在支撑机构(6)和顶盖机构(7)的两侧,且外壳体(1)内部侧壁固定安装有弹性件(13),弹性件(13)的另一端固定安装有挤压件(14),挤压件(14)固定安装在密封盖(26)的上端。
3.如权利要求2所述的一种半导体生产用冷却装置,其特征在于:支撑机构(6)包括固定安装在外壳体(1)内部的底座(61)和铰接安装在底座(61)上端的承重座(62),底座(61)的下端固定安装有支撑架(63),底座(61)的两端固定安装有稳固架(64),稳固架(64)远离底座(61)的一端固定安装在竖板(11)的内壁,承重座(62)靠近出料口(4)的一侧开设有连通孔(65),且连通孔(65)与出料口(4)位置一致,底座(61)的下端开设有与外壳体(1)内部相贯通的进气口(66)。
4.如权利要求3所述的一种半导体生产用冷却装置,其特征在于:承重座(62)包括铰接安装在底座(61)上端的承重座(62)和开设在承重座(62)上表面开设的安置通道(622),安置通道(622)的远离连通孔(65)的一端开设有进料口(623),且安置通道(622)靠近进料口(623)的一端的开口大于靠近连通孔(65)一侧的开口,安置通道(622)的上表面开设有冷却风口(624),冷却风口(624)与进气口(66)相贯通,承重板(621)的侧端开设有侧槽(625),侧槽(625)的内部活动安装有限位机构(626),进料口(623)的一端高于连通孔(65)的一端。
5.如权利要求4所述的一种半导体生产用冷却装置,其特征在于:限位机构(626)包括一端铰接安装在侧槽(625)内部的连杆(6261)和固定安装在连杆(6261)另一端的弧形板(6262),弧形板(6262)的一端固定安装有与侧槽(625)活动贯穿连接的延伸杆(6263),延伸杆(6263)的另一端与挤压件(14)位置一致。
6.如权利要求5所述的一种半导体生产用冷却装置,其特征在于:连杆(6261)的内壁铰接安装有弹性片(6264),弹性片(6264)的另一端活动安装在侧槽(625)的内部,且弹性片(6264)设置有两组,两组所述的弹性片(6264)关于连杆(6261)的横向中心线对称安装。
7.如权利要求6所述的一种半导体生产用冷却装置,其特征在于:顶盖机构(7)包括顶盖板(71)和固定安装在顶盖板(71)上端的通管(72),通管(72)与冷却腔(23)相通,顶盖板(71)的下端固定安装有内置板(73),且顶盖板(71)的上表面贯穿安装有螺栓(74),螺栓(74)的下端与内置板(73)和承重板(621)螺纹贯穿连接,内置板(73)的下端固定安装有连接机构(75),连接机构(75)设置在连杆(6261)的上端。
8.如权利要求7所述的一种半导体生产用冷却装置,其特征在于:内置板(73)的上端固定安装有凸出件(731),内置板(73)的下端开设有与连通孔(65)上端相匹配的槽体(733),凸出件(731)的内部开设有内腔(732),内腔(732)的内部充斥有相变材料,凸出件(731)的外侧开设有避让孔(734)。
9.如权利要求8所述的一种半导体生产用冷却装置,其特征在于:连接机构(75)包括设置在内置板(73)下端的连接底板(751)和开设在连接底板(751)上表面的截流道(752),连接底板(751)的上表面还设置有储存槽(753),截流道(752)横向开设在连接底板(751)的上表面,且两端延伸至纵向开设在连接底板(751)上表面的储存槽(753)内部。
10.如权利要求9所述的一种半导体生产用冷却装置,其特征在于:储存槽(753)的深度大于截流道(752)的深度,且外侧固定安装有与避让孔(734)贯穿连接的连接管(754),连接管(754)的另一端与冷却水管(25)远离冷却腔(23)的一侧固定连接。