利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2021110349748
申请人: 南通冠准材料贸易有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-22
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,其特征在于,包括:炉管(1),所述炉管(1)顶部开设有开口,内部转动安装有用于多晶硅熔融的熔融盆(2);

调节架(3),所述调节架(3)移动端转动连接有晶种柱(4),所述晶种柱(4)的圆心与熔融盆(2)的圆心在垂直方向投影重合;

联动组件(5),所述联动组件(5)包括连接柱(51)、转动环(52)和侧齿块(53),所述转动环(52)位于炉管(1)上方,两个所述连接柱(51)固定对称连接在转动环(52)底部和熔融盆(2)侧边,多个所述侧齿块(53)环状固定连接在转动环(52)远离炉管(1)一侧的边缘;

转动夹持组件(6),两个所述转动夹持组件(6)对称安装在转动环(52)两侧,所述转动夹持组件(6)包括转轴(61)、齿柱(62)和夹持板(63),所述转轴(61)通过安装架(8)转动设置在转动环(52)内部,所述齿柱(62)固定连接在转轴(61)一端,且与侧齿块(53)啮合连接,多个所述夹持板(63)环状固定连接在转轴(61)侧边;

拉动组件(7),所述拉动组件(7)安装在转轴(61)和调节架(3)之间,用于改变夹持板(63)的形状。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,其特征在于,两个所述安装架(8)对称安装在炉管(1)顶部,且伸出两个安装臂,所述转轴(61)转动安装在两个安装臂之间,且夹持板(63)位于安装臂之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,其特征在于,所述夹持板(63)中部为弧形,且在不工作时,垂直方向投影与开口边缘重合,所述夹持板(63)侧边开设有多个梯台形卡槽(10),所述夹持板(63)由弹性材质制成。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,其特征在于,所述拉动组件(7)包括挤压环(71)、导向杆(72)和拉绳(73),两个所述挤压环(71)滑动套设在转轴(61)上,且位于夹持板(63)两侧,所述导向杆(72)固定连接在安装架(8)上方,且中部安装有弹性组件(9),两个所述拉绳(73)一端分别与两个挤压环(71)固定连接,中部分别缠绕在导向杆(72)两端上,且另一端固定连接在调节架(3)水平端底部同一处。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,其特征在于,所述弹性组件(9)包括固定环(91)、弹簧(92)和挡环(93),所述固定环(91)固定套设在导向杆(72)中部,两个所述弹簧(92)套设在导向杆(72)上,且分别固定连接在固定环(91)两侧,所述挡环(93)滑动套设在导向杆(72)上,且与弹簧(92)一端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,其特征在于,所述转动环(52)中部开设有出料口,所述出料口直径与开口直径一致,所述转动环(52)内部固定连接有密封轴承(11),用于成型过程中对炉管(1)内部的保温。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,其特征在于,两个所述齿柱(62)分别位于两边,且转动环(52)转动时,两个齿柱(62)相对转动。

8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,其特征在于,所述转轴(61)远离齿柱(62)的一端固定连接有风扇(12),所述风扇(12)转动过程中,产生从转轴(61)一侧向另一侧移动的空气流动。

9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,其特征在于,所述侧齿块(53)与齿柱(62)的齿数设置与晶种柱(4)和熔融盆(2)的转动速率相关。