1.一种阵列式多出口薄膜节流器结构,包括下压盖(1)、上橡胶垫(22)、下橡胶垫(21)、弹性膜片(3)、上压盖(4)、进气盖(5),其特征在于:所述进气盖(5)与上压盖(4)紧固连接,所述进气盖(5)与上压盖(4)之间设有节流气进气腔(53),所述下压盖(1)与上压盖(4)紧固连接,所述下压盖(1)与上压盖(4)之间依次堆叠设有下橡胶垫(21)、弹性膜片(3)和上橡胶垫(22);所述弹性膜片(3)与下压盖(1)之间设有多个圆周阵列的压力平衡腔(123),所述弹性膜片(3)与上压盖(4)之间设有多个圆周阵列的节流气腔(424),弹性膜片(3)的两面对称地设有节流气腔(424)和压力平衡腔(123),形成薄膜节流器;每个薄膜节流器的节流气腔(424)内设有节流喷嘴(426)和出气口(425),每个薄膜节流器的出气口(425)分别与静压干气密封静环的一个节流孔相连通;各个薄膜节流器的节流气腔(424)之间互不连通,各个薄膜节流器的压力平衡腔(123)之间互相连通;
所述节流气进气腔(53)通过进气通道(421)与节流喷嘴孔(422)连通,所述弹性膜片(3)与节流喷嘴(426)端面之间设有节流间隙(423),所述节流喷嘴孔(422)通过节流间隙(423)与节流气腔(424)相连通;
给定压力的节流气首先通过节流器喷嘴孔(422)喷出,进入节流喷嘴(426)端面与弹性膜片(3)之间的微小间隙而产生一定的流阻和压降后进入节流气腔(424),进行首次节流;
从节流气腔(424)出气口(425)流出的节流气进入静压干气密封的动静环间隙并产生流阻和压降。
2.根据权利要求1所述的一种阵列式多出口薄膜节流器结构,其特征在于:所述上压盖(4)上设有平衡气进气孔(411),所述每个薄膜节流器的压力平衡腔(123)都与平衡气进气通道(412)相连通。
3.根据权利要求2所述的一种阵列式多出口薄膜节流器结构,其特征在于:所述下压盖(1)上端面设有平衡气流通通道(12),所述平衡气流通通道(12)包括中心孔(121)、压力平衡腔(123)和连通通道(122),所述压力平衡腔(123)为圆柱形,所述压力平衡腔(123)通过连通通道(122)与中心孔(121)相连通。
4.根据权利要求3所述的一种阵列式多出口薄膜节流器结构,其特征在于:所述薄膜节流器结构外形为圆柱形。
5.根据权利要求3所述的一种阵列式多出口薄膜节流器结构,其特征在于:所述薄膜节流器结构外形为截面六边形的棱柱形。
6.根据权利要求5所述的一种阵列式多出口薄膜节流器结构,其特征在于:所述下压盖(1)上端面设有平衡气流通通道(12),所述平衡气流通通道(12)包括中心孔(121)和压力平衡腔(123),所述压力平衡腔(123)为三角形截面的棱柱形,所述中心孔(121)与压力平衡腔(123)相连通。