1.一种通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,包括以下步骤:(1)将预填充块压入具有孔洞的模具中,所述孔洞的深度、孔径及排列形式与载板基材上所需的通孔或盲孔互连结构对应;预填充块脱模,形成填充基材,其表面获得多个按所述排列形式布置的填充棒;
(2)将载板材料覆盖在填充基材的表面,使得填充基材表面上的填充棒插入至载板材料中;
(3)通过控制载板材料和填充基材的温度,使得载板材料固化,形成载板基材;利用载板材料与填充基材的热收缩差异,实现载板材料与填充基材界面分离,并在切应力的作用下使得填充棒的根部断裂,使得填充棒保留在载板基材中;
(4)对步骤(3)中形成的载板基材进行线路层的加工,最终获得具有通孔或盲孔互连结构的载板基材。
2.根据权利要求1所述的通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,在完成步骤(1)后,对所述填充基材进行表面预处理,使得填充基材的表面与金属不具有结合力。
3.根据权利要求2所述的通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,对所述填充基材进行表面预处理的方式为以下其中一种:(a)将填充基材浸泡于含有明胶的高熔点大分子有机物溶液中,使填充基材表面形成有机包覆层,实现与金属不具有结合力;
(b)在填充基材表面沉积一层石墨;
(c)在填充基材表面铺洒二氧化硅粉末层;
(d)在填充基材表面沉积一层金属锡。
4.根据权利要求1所述的通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,在完成步骤(3)后,对载板基材的表面进行处理,使得载板基材表面平整。
5.根据权利要求1所述的通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,在步骤(3)中,对填充基材的另一侧进行涡流加热,控制填充基材表面温度,同时调控载板材料的温度,实现填充基材与载板材料之间形成热应力差,最终实现填充基材和载板材料的界面分离以及填充棒的根部断裂。
6.根据权利要求1所述的通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,在步骤(3)中,对填充基材的另一侧施加超声波,并让超声波频率与填充基材的厚度满足以下关系:(0.5+n)c/f=D,
其中,f为超声波频率,D为填充基材的厚度,n为任意自然数,c为填充基材的体声波声速。
7.根据权利要求1所述的通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,在步骤(2)和步骤(3)中:
当载板材料为玻璃时,将玻璃熔融后覆盖于填充基材的上方,并浸没填充棒至所需高度,接着进行冷却,此时由于玻璃与填充基材具有热收缩差异,使得玻璃与填充基材界面分离,且在切应力作用下使得填充棒根部断裂,最终获得带有通孔或盲孔互连结构的玻璃载板基材;
当载板材料为塑封料结构时,将塑封料粉末铺洒于填充基材的上方,并浸没金属棒至所需高度,接着对塑封料进行加热使其熔化并固化,此时由于塑封料与填充基材具有热收缩差异,使塑封料与填充基材界面分离,且在切应力作用下使填充棒根部断裂,最终获得带有通孔或盲孔互连结构的塑封料载板;
当载板材料为介电层结构时,将层状介电材料加热软化,将填充基材上的填充棒插入介电层至所需深度,接着对介电层进行保温固化,此时由于介电层与填充基材具有热收缩差异,使介电层与填充基材界面分离,且在切应力作用下使填充棒根部断裂,最终获得带有通孔或盲孔互连结构的介电层载板。
8.根据权利要求1所述的通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,在步骤(1)中,通过热压印的方式将预填充块压入具有孔洞的模具中。
9.根据权利要求1所述的通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,所述填充基材为高导电低屈服强度金属。
10.根据权利要求1所述的通孔、盲孔互连结构成型工艺,其特征在于,载板基材上所需的通孔或盲孔的孔径为3nm‑1mm,深度为3nm‑10mm。