1.一种异质结红外光电传感器,其特征在于,采用基于Cu/SnSe/Ge/In‑Ga的异质结的光电传感器;将SnSe/Ge的异质结作为光吸收活性层,在SnSe/Ge的异质结的界面处形成电场;将Cu的微栅格结构作为顶电极,与SnSe的晶体薄膜形成欧姆接触;将In‑Ga合金或In的晶体薄膜作为底电极,与Ge的晶体基片形成欧姆接触。
2.如权利要求1中所述的一种异质结红外光电传感器,其特征在于,所述SnSe的晶体薄3
膜厚度设置为50‑90nm,电阻率设置为2.20×10Ω·cm,电导类型设置为P型。
3.如权利要求1中所述的一种异质结红外光电传感器,其特征在于,所述Ge的晶体基片厚度设置为100‑200μm,电阻率设置为1.0‑5.0Ω·cm,电导类型设置为N型。
4.如权利要求1中所述的一种异质结红外光电传感器,其特征在于,所述顶电极的厚度设置为60‑100nm,结构设置为鱼骨状结构,线宽设置为100μm,线长设置为4.8mm,间隔设置为500μm。
5.如权利要求1中所述的一种异质结红外光电传感器,其特征在于,所述底电极的厚度设置为60‑100nm。
6.如权利要求1中所述的一种异质结红外光电传感器,其特征在于,所述Cu/SnSe/Ge/In‑Ga的异质结的光电传感器设置为方形器件,尺寸设置为5mm×5mm×200μm。
7.如权利要求1中所述的一种异质结红外光电传感器,其特征在于,所述Cu/SnSe/Ge/In‑Ga的异质结的光电传感器所感知的红外光波长为1064nm、1310nm和1550nm。
8.一种异质结红外光电传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:基于Ge晶体基片得到表面洁净的Ge衬底,在Ge衬底上构造高结晶度的SnSe晶体薄膜,得到具有电学突变结的SnSe/Ge的异质结;
在所述SnSe/Ge的异质结上SnSe晶体薄膜的一侧制备Cu栅格电极,得到Cu/SnSe/Ge的异质结;
在所述Cu/SnSe/Ge的异质结上Ge晶体基片的一侧制备In‑Ga合金或In电极,得到具有Cu/SnSe/Ge/In‑Ga的异质结的红外光电传感器。
9.如权利要求8中所述的一种异质结红外光电传感器的制备方法,其特征在于,通过超声清洗设备对Ge晶体基片进行处理,得到表面洁净的Ge衬底,采用物理气相沉积法或磁控溅射结合后退火工艺在Ge衬底上构造高结晶度的SnSe晶体薄膜。
10.如权利要求8中所述的一种异质结红外光电传感器的制备方法,其特征在于,通过真空热蒸发、磁控溅射或电子束蒸发工艺在所述SnSe/Ge的异质结上SnSe晶体薄膜的一侧制备结构由掩膜版或光刻工艺所决定的Cu栅格电极,通过旋涂工艺在Ge晶体基片的一侧旋涂一层In‑Ga合金或蒸发一层In薄膜作为器件的底接触欧姆电极。