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专利号: 2021107272191
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,其特征在于,包括以下步骤,S1:使用激光雕刻机对聚合物PMMA基板进行雕刻烧蚀处理,制备所需要的烧蚀孔和烧蚀槽;

S2:将雕刻完成的聚合物PMMA基板放置于三氯甲烷溶液;

S3:将带有三氯甲烷溶液的聚合物PMMA基板置于超声场;

S4:将聚合物PMMA基板从超声场中取出,进行光照处理;

S5:待三氯甲烷挥发充分后,使用乙醇溶液清洗聚合物PMMA基板。

2.根据权利要求1所述的改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,其特征在于:步骤S1中,运用机械设计软件CAD绘制出激光雕刻路径,将绘制好的CAD图纸导入激光雕刻机配套软件中。

3.根据权利要求1所述的改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,其特征在于:步骤S2中,将雕刻完成的聚合物PMMA基板避光放置在玻璃器皿容器之中。

4.根据权利要求1所述的改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,其特征在于:步骤S2中,三氯甲烷溶液的浓度为90%。

5.根据权利要求1所述的改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,其特征在于:步骤S2中,使用针管吸取融于甲醇的三氯甲烷溶液滴在聚合物PMMA基板上。

6.根据权利要求1所述的改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,其特征在于:步骤S3中,超声场使用频率为28kHz的超声波发生器。

7.根据权利要求1所述的改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,其特征在于:步骤S5中,乙醇溶液为75%‑95%浓度的工业乙醇。