1.一种钛合金表面改性方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)对钛合金制件表面进行预处理;
(2)将预处理好的钛合金制件悬挂于等离子冶金炉的石墨源极靶材中,并在石墨源极靶材上插入金属棒,形成复合靶材结构;
石墨源极靶材为空心筒状石墨靶材,高度为200~400mm,外径为50~100mm,内径为50~90mm,石墨源极靶材中部加工有直径为3~5mm的圆孔阵列;
圆孔阵列中的圆孔沿石墨源极靶材周向排布20‑50个,纵向设有6‑10排;(3)对钛合金制件进行辉光渗金属处理。
2.根据权利要求1所述的钛合金表面改性方法,其特征在于,步骤(3)包括:首先通入20~40Pa惰性氩气体,钛合金制件在200‑500V电压条件下对钛合金制件进行预轰击和预热处理;后电压提高至550‑1000V,使复合靶材和钛合金制件升温至500~1000℃,处理结束后降温,得到表面改性的钛合金制件。
3.根据权利要求2所述的钛合金表面改性方法,其特征在于,将预处理好的钛合金制件悬挂于等离子冶金炉的石墨源极靶材内部,使得钛合金制件位于圆孔阵列区域的中心位置;并在石墨源极靶材的圆孔中插入金属棒,形成复合靶材结构。
4.根据权利要求1所述的钛合金表面改性方法,其特征在于,步骤(2)中,金属棒为纯铬、纯钼或纯钨。
5.根据权利要求1所述的钛合金表面改性方法,其特征在于,步骤(3)中,先在20~40Pa惰性气体下对钛合金制件表面进行预轰击,钛合金制件电压为300~400V。
6.根据权利要求1所述的钛合金表面改性方法,其特征在于,步骤(3)中,预轰击和预热处理后通入氩氮混合气体,氩氮比例3:1~3,使工作气压提高到40~100Pa,再提高电压至
550‑1000V。
7.根据权利要求1所述的钛合金表面改性方法,其特征在于,步骤(3)中,石墨复合靶结构电压为550‑1000V,钛合金制件电压为200~500V。
8.根据权利要求1所述的钛合金表面改性方法,其特征在于,步骤(3)中,在微辉保护下降温。