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专利号: 2021104678860
申请人: 江苏壹光科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种复合薄膜,其特征在于,包括交替层叠设置的金属/金属氟化物层和含氟有机物层;

所述金属/金属氟化物层的材料为金属和金属氟化物;

所述含氟有机物层的材料为全氟酞菁铜;

所述金属的粒径大于金属氟化物的粒径;

所述金属的粒径为0.5~1nm;所述金属氟化物的粒径为0.1~0.2nm。

2.根据权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述金属包括金、银或铝;

所述金属氟化物包括碱金属氟化物和碱土金属氟化物中的一种。

3.根据权利要求1或2所述的复合薄膜,其特征在于,所述金属和金属氟化物的质量比为1~2:1。

4.根据权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述金属/金属氟化物层和含氟有机物层的厚度独立的为10~100nm。

5.根据权利要求1所述的复合薄膜,其特征在于,所述金属/金属氟化物层和含氟有机物层的层数均≥1;所述金属/金属氟化物层和含氟有机物层依次交替层叠设置,且所述金属/金属氟化物层和含氟有机物层的层数相同。

6.权利要求1~5任一项所述复合薄膜的制备方法,包括以下步骤:在基体表面同时第一蒸镀金属和金属氟化物,得到金属/金属氟化物层;

在所述金属/金属氟化物层表面第二蒸镀全氟酞菁铜,得到复合薄膜。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述第一蒸镀和第二蒸镀的蒸镀速度独立的为

8.根据权利要求6或7所述的制备方法,其特征在于,进行第一蒸镀时,所述金属的蒸镀电流为25~160A;

所述金属氟化物的蒸镀电流为55~65A;

所述第二蒸镀的电流为60~70A。

9.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述第二蒸镀完成后,还包括依次重复所述第一蒸镀和第二蒸镀;

所述重复的次数≥1。

10.权利要求1~5任一项所述复合薄膜或者权利要求6~9任一项所述制备方法制备得到的复合薄膜在OLED器件封装中的应用。