1.一种等间距的芯片扩张及巨量转移方法,其特征在于,包括以下步骤:
S10.选择承载膜(1),所述承载膜(1)包括自上而下顺次设置的保护膜层(101)、临时键合胶层(102)以及薄膜拉伸层(103),撕开保护膜层(101),将芯片(3)转移到临时键合胶层(102);
S20.沿X方向拉伸承载膜(1),直至X方向芯片(3)间距扩张至设定值;沿Y方向拉伸承载膜(1),直至Y方向芯片(3)间距扩张至设定值;
S30.激光(12)照射临时键合胶层(102),被照射处的临时键合胶失效,芯片(3)脱离临时键合胶层(102)并转移至承载基板(4)的焊盘(5)上,完成单种类型芯片(3)的巨量转移;
S40.重复步骤S10~S30,依次完成多种类型芯片(3)的巨量转移;
步骤S20在进行拉伸扩张的过程中,对芯片(3)间距进行实时同步检测;对芯片(3)间距存在偏差的区域,局部修正芯片(3)在阵列中的位置及间距误差,使得所有芯片(3)间距达到所需间距;
步骤S20中,在拉伸扩张过程中,对承载膜(1)进行整体加热以增加承载膜(1)的柔性;
对于芯片(3)间距存在偏差的区域,对承载膜(1)的温度场进行局部调节,改变承载膜(1)的局部性能,修正芯片(3)在阵列中的位置及间距误差;
对于芯片(3)间距偏小、阵列密度偏大的区域,采用局部加热的方法进行调节;同时,可对芯片(3)间距偏小、阵列密度偏大的区域吹入腐蚀性气体,以减薄承载膜(1)的厚度;对于芯片(3)间距偏大、阵列密度偏小的区域,采用局部降温的方法进行调节。
2.根据权利要求1所述的等间距的芯片扩张及巨量转移方法,其特征在于,步骤S10中,所述薄膜拉伸层(103)内嵌有呈网格排布的高分子弹性材料,所述高分子弹性材料将承载膜(1)划分为设有多个规整排列节点(105)的区域。
3.根据权利要求2所述的等间距的芯片扩张及巨量转移方法,其特征在于,步骤S20中,使用阵列式夹头(7)夹取承载膜(1)进行拉伸扩张,所述阵列式夹头(7)夹于高分子弹性材料的节点(105)处,所述阵列式夹头(7)为点状或长条状,所述阵列式夹头(7)通过定间距阵列式桁架结构(8)进行连接。
4.根据权利要求1所述的等间距的芯片扩张及巨量转移方法,其特征在于,步骤S20中,沿X方向将一张承载膜(1)划分为多个区域,分别对不同区域的芯片(3)沿X向进行拉伸扩张至设定值,依次将不同区域拉伸扩张后的芯片(3)转移至另一张承载膜(1)上;对另一张承载膜(1)沿Y向进行拉伸扩张。
5.根据权利要求1所述的等间距的芯片扩张及巨量转移方法,其特征在于,在步骤S10之后,在步骤S20之前,对承载膜(1)进行预拉伸,通过预拉伸掌握承载膜(1)各区域的变形量分布,选用均匀变形的承载膜(1)。
6.根据权利要求1所述的等间距的芯片扩张及巨量转移方法,其特征在于,重复S10的步骤,得到多张承载有芯片(3)的承载膜(1);多张承载膜(1)对齐堆叠放置,将多张承载膜(1)压紧,对堆叠完成的承载膜(1)进行边缘密封避免空气进入;步骤S20中,在拉伸扩张过程中,对承载膜(1)进行加热以增加承载膜(1)的柔性。
7.根据权利要求6所述的等间距的芯片扩张及巨量转移方法,其特征在于,对于芯片(3)间距存在偏差的区域,对承载膜(1)的温度场进行局部调节,改变承载膜(1)的局部性能,修正芯片(3)在阵列中的位置及间距误差。
8.根据权利要求7所述的等间距的芯片扩张及巨量转移方法,其特征在于,对于芯片(3)间距存在偏差的区域,使用热量可调的红外定向辐射器(9)修正芯片(3)在阵列中的位置及间距误差:对于扩张不足区域内中部芯片(3)间距小、四周芯片(3)间距大的情况,采用中间温度高、四周温度低的圆形热源加热;针对两列或两行之间芯片(3)间距不足的情况,采用条形热源加热;针对两芯片(3)之间间距较小的情况,采用点状热源;对于芯片(3)间距偏大的区域,通过定向通入冷空气气流、或定向滴加挥发性介质,降低局部温度以延缓承载膜(1)的扩张。