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专利号: 2021103625508
申请人: 重庆邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-12
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种具有电子积累效应的鳍式EAFin‑LDMOS器件,其特征在于,该器件分为:

1)器件上面部分,包括:栅氧化层(6)、栅氧化层(6)外侧部分和栅氧化层(6)内侧部分;

栅氧化层(6)外侧部分:从左至右依次是源极P+区(1)、源极N+区(2)、P‑body(3)、漂移区(4)和漏极N+区(5);所述源极P+区(1)和源极N+区(2)位于整个器件的左上区域,被P‑body(3)包围;P‑body(3)的右侧与漂移区(4)的左侧接触;漏极N+区(5)位于整个器件的右上区域,左边和下边被漂移区(4)所包围;

栅氧化层(6)内侧部分:从左至右依次是栅极P+区(12)、栅极P‑body(13)、控制结构的漂移区(9)、控制结构的漏极N+区(8)和控制结构的漏极P+区(7);所述栅极P+区(12)的右侧和栅极P‑body(13)的左侧相接触;栅极P‑body(13)的右侧和控制结构的漂移区(9)的左侧相接触;控制结构的漏极N+区(8)位于器件的右上区域,被控制结构的漂移区(9)所包围,同时控制结构的漏极N+区(8)的右上角也包围着控制结构的漏极P+区(7);

2)器件底部部分:由衬底(11)组成,位于器件上面部分之下。

2.根据权利要求1所述的鳍式EAFin‑LDMOS器件,其特征在于,该器件还包括在漂移区(4)或控制结构的漂移区(9)增加P型区或超结P型区。

3.根据权利要求1所述的鳍式EAFin‑LDMOS器件,其特征在于,所述栅氧化层(6)外侧部分还包括:表面栅氧化层(16),位于源极N+区(2)和漂移区(4)之间的P‑body(3)的上表面,并连接栅极P+区(12)。

4.根据权利要求1所述的鳍式EAFin‑LDMOS器件,其特征在于,将控制结构的漏极P+区(7)延伸到栅氧化层(6)的外侧部分,形成漏极P+区(17),使得漏极N+区(5)与漏极P+区(17)直接接触。

5.根据权利要求1~4中任意一项所述的鳍式EAFin‑LDMOS器件,其特征在于,所述栅氧化层(6)内侧部分的Z方向宽度和厚度根据需要改变。

6.根据权利要求1~4中任意一项所述的鳍式EAFin‑LDMOS器件,其特征在于,该器件是N型LDMOS器件,能对应切换成P型LDMOS器件。

7.根据权利要求1~4中任意一项所述的鳍式EAFin‑LDMOS器件,其特征在于,该器件结构适用于VDMOS器件和IGBT器件。

8.根据权利要求1~4中任意一项所述的鳍式EAFin‑LDMOS器件,其特征在于,该器件结构能将栅氧化层(6)的内侧部分与外侧部分结构调换,使得LDMOS器件结构位于栅氧化层(6)内侧,栅极控制结构位于栅氧化层(6)外侧。

9.根据权利要求1~4中任意一项所述的鳍式EAFin‑LDMOS器件,其特征在于,该器件还包括:器件中间部分,由埋氧层(10)组成,位于器件上面部分之下,位于器件底部部分之上。