利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2021102758150
申请人: 西南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种纳米晶MoSi2涂层的制备方法,其特征在于:具体包括以下步骤:将基底置于磁控溅射系统的腔室中,抽真空后通入惰性气体,加热基底至600‑800℃,同时开启钼靶和硅靶的电源进行共沉积,得到MoSi2涂层;其中,钼靶为1个,硅靶为2个,共沉积过程中,控制钼靶和硅靶的溅射速率相同。

2.根据权利要求1所述的纳米晶MoSi2涂层的制备方法,其特征在于:所述硅靶的溅射功率为300‑320W,所述钼靶的溅射功率为75‑85W。

3.根据权利要求1或2所述的纳米晶MoSi2涂层的制备方法,其特征在于:所述基底的加热温度为800℃。

4.一种纳米晶MoSi2涂层,由权利要求1‑3任一项所述的纳米晶MoSi2涂层的制备方法得到,其特征在于:所述纳米晶MoSi2涂层的平均晶粒尺寸小于40nm。

5.一种根据权利要求4所述的纳米晶MoSi2涂层,其特征在于:所述纳米晶结构的平均晶粒尺寸为15‑17nm。

6.根据权利要求4所述的纳米晶MoSi2涂层,其特征在于:所述纳米晶结构为纳米柱状晶。

7.根据权利要求4所述的纳米晶MoSi2涂层,其特征在于:所述MoSi2涂层晶体物相结构由C11bMoSi2相和C40MoSi2相组成。

8.根据权利要求7所述的纳米晶MoSi2涂层,其特征在于:所述C40MoSi2相在(100)、(101)、(103)晶面上具有择优取向。

9.根据权利要求4所述的纳米晶MoSi2涂层,其特征在于:所述MoSi2涂层的厚度为1μm‑2μm。