1.一种全环绕闸极垂直贯穿式晶体管,其特征在于,所述全环绕闸极垂直贯穿式晶体管包括:
基底(110);
至少两个器件单元(120),依次重叠设置在所述基底(110)上,所述器件单元(120)上开设有垂直于所述基底(110)的过孔(125),所述过孔(125)贯穿全部所述器件单元(120);
闸极(130),设置在所述过孔(125)内、并与全部所述器件单元(120)连接。
2.根据权利要求1所述的全环绕闸极垂直贯穿式晶体管,其特征在于,所述闸极(130)包括:
纳米线(131);
氧化层(132),包裹在所述纳米线(131)的外周面。
3.根据权利要求2所述的全环绕闸极垂直贯穿式晶体管,其特征在于,所述氧化层(132)为二氧化硅。
4.根据权利要求1所述的全环绕闸极垂直贯穿式晶体管,其特征在于,所述过孔(125)的数量为多个,多个所述过孔(125)间隔排布。
5.根据权利要求1所述的全环绕闸极垂直贯穿式晶体管,其特征在于,所述器件单元(120)包括:
隔绝层(121),设置在所述基底(110)上;
汲极层(122),设置在所述隔绝层(121)上;
阱层(123),设置在所述汲极层(122)上;
源极层(124),设置在所述阱层(123)上。
6.一种全环绕闸极垂直贯穿式晶体管的制备方法,其特征在于,所述全环绕闸极垂直贯穿式晶体管的制备方法包括:在基底(110)上形成至少两个依次重叠设置的器件单元(120);
在所述器件单元(120)上开设垂直于所述基底(110)的过孔(125),所述过孔(125)贯穿全部所述器件单元(120);
在所述过孔(125)内形成闸极(130),所述闸极(130)与全部所述器件单元(120)连接。
7.根据权利要求6所述的全环绕闸极垂直贯穿式晶体管的制备方法,其特征在于,所述在所述过孔(125)内形成闸极(130)的步骤包括:在所述过孔(125)内形成氧化层(132);
在所述过孔(125)内形成纳米线(131),使所述氧化层(132)包裹在所述纳米线(131)的外周面。
8.根据权利要求7所述的全环绕闸极垂直贯穿式晶体管的制备方法,其特征在于,所述氧化层(132)采用二氧化硅形成。
9.根据权利要求6所述的全环绕闸极垂直贯穿式晶体管的制备方法,其特征在于,所述在所述器件单元(120)上开设垂直于所述基底(110)的过孔(125)的步骤包括:采用曝光显影技术形成所述过孔(125)。
10.根据权利要求6所述的全环绕闸极垂直贯穿式晶体管的制备方法,其特征在于,所述在基底(110)上形成至少两个依次重叠设置的器件单元(120)的步骤包括:在所述基底(110)上形成隔绝层(121);
在所述隔绝层(121)上形成汲极层(122);
在所述汲极层(122)上形成阱层(123);
在所述阱层(123)上形成源极层(124)。