1.一种晶圆片加工用粉尘收集装置，包括箱体(1),所述箱体(1)底部四侧均安装有支柱(2)，所述箱体(1)底部一侧安装有出水口(4)，其特征在于，所述箱体(1)底部中间安装有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出端安装有往复螺杆(5)，所述往复螺杆(5)顶部安装有限位盖(6)，所述往复螺杆(5)伸入所述箱体(1)内部，且所述往复螺杆(5)位于所述箱体(1)内部的一端安装有移动座(7)，所述移动座(7)与所述往复螺杆(5)之间转动连接，所述移动座(7)沿周向均匀安装有多个连杆(8)，所述连杆(8)另一端固定有安装框(9)，所述安装框(9)为矩形框，且所述箱体(1)内壁与所述安装框(9)之间相抵触，所述安装框(9)四侧顶部均开有安装槽(10)，所述安装槽(10)内部安装有过滤机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用粉尘收集装置，其特征在于，所述过滤机构包括限位螺栓(11)、过滤网(12)、限位孔(13)、安装座(14)、限位框(15)，所述安装座(14)插接在所述安装槽(10)内部，所述限位框(15)固定在所述安装座(14)顶部，所述过滤网(12)安装在所述限位框(15)内部，所述限位螺栓(11)插接在所述安装槽(10)两端，所述限位孔(13)开设在所述安装座(14)两端。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片加工用粉尘收集装置，其特征在于，所述限位螺栓(11)与所述限位孔(13)的位置相对应，且所述限位孔(13)与所述限位螺栓(11)的尺寸相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用粉尘收集装置，其特征在于，所述箱体(1)的深度大于所述往复螺杆(5)的高度。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用粉尘收集装置，其特征在于，所述安装框(9)外侧均安装有弹性垫。