1.一种晶圆片加工用碎屑收集装置,包括收集壳(1),其特征在于,所述收集壳(1)内侧通过固定板(2)固定安装有安装盒(3),所述安装盒(3)内部一侧固定安装有电机(4),所述电机(4)控制输出上端固定安装有第一皮带轮(5),所述安装盒(3)内部另一侧转动设有转动轴(8),所述转动轴(8)中部固定安装有第二皮带轮(7),所述第二皮带轮(7)通过皮带(6)与所述第一皮带轮(5)传动相连,所述转动轴(8)上端贯穿延伸至所述安装盒(3)上方并固定安装有转盘(9),所述转盘(9)两侧均固定安装有套接凸缘(10),所述收集壳(1)内侧表面还通过支撑杆(12)固定安装有限制架(11),所述限制架(11)与所述套接凸缘(10)相配合,所述转盘(9)上端面固定安装有放置台(13),所述放置台(13)两侧均固定安装有安装架(14),所述安装架(14)上端螺纹连接有紧固螺栓(15),所述收集壳(1)下端固定安装有出屑板(17),所述出屑板(17)外侧表面固定安装有支撑腿(18)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用碎屑收集装置,其特征在于,所述限制架(11)是一个截面为环形形状的结构,所述套接凸缘(10)转动套设于所述限制架(11)外侧。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用碎屑收集装置,其特征在于,所述收集壳(1)上端固定安装有一体结构的沿边(16),所述沿边(16)是一个截面为弧形形状的结构。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用碎屑收集装置,其特征在于,所述放置台(13)是一个截面为环形形状的结构。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用碎屑收集装置,其特征在于,所述出屑板(17)下端的半径小于所述上端的半径。