1.一种输气管道，其特征在于，用于输送由制程设备产生的制程废气，所述输气管道包括管道本体及涂覆在管道本体的管道内壁上的保护膜层，所述制程废气在所述输气管道内传输的过程中仅与所述保护膜层接触。

2.根据权利要求1所述的输气管道，其特征在于，所述保护膜层的制备材料包括氧化钇、氟化钇、氧化铝、二氧化钛中的任意一种。

3.根据权利要求1或2所述的输气管道，其特征在于，所述保护膜层的厚度大于或等于

35μm。

4.根据权利要求3所述的输气管道，其特征在于，所述保护膜层的紧密度大于或等于

99％。

5.一种制程废气处理系统，其特征在于，所述制程废气处理系统包括抽气泵、废气处理设备及权利要求1‑4中任意一项所述的输气管道；

所述抽气泵的进气口经所述输气管道与制程设备连通，用于通过所述输气管道抽取所述制程设备所产生的制程废气；

所述抽气泵的出气口经所述输气管道与所述废气处理设备连通，用于将抽取的制程废气通过所述输气管道传输至所述废气处理设备中进行处理。

6.根据权利要求5所述的制程废气处理系统，其特征在于，所述制程废气处理系统还包括供电设备；

所述供电设备分别与所述抽气泵及所述废气处理设备电性连接，用于分别向所述抽气泵及所述废气处理提供电能。

7.根据权利要求6所述的制程废气处理系统，其特征在于，所述制程废气处理系统还包括加热带；

所述加热带裹覆在所述输气管道的外壁，并与所述供电设备电性连接，用于在所述供电设备提供的电能作用下升温，以对所述输气管道进行加热。

8.根据权利要求7所述的制程废气处理系统，其特征在于，所述制程废气处理系统还包括控制设备；

所述控制设备分别与所述抽气泵、所述废气处理设备及所述加热带电性连接，用于分别控制所述抽气泵、所述废气处理设备及所述加热带的工作状态；

所述供电设备与所述控制设备电性连接，用于向所述控制设备提供电能。

9.根据权利要求8所述的制程废气处理系统，其特征在于，所述制程废气处理系统还包括通信设备；

所述控制设备与所述通信设备电性连接，用于接收与所述通信设备通信连接的外控设备所发送的控制指令，并按照所述控制指令调整所述抽气泵、所述废气处理设备及所述加热带中的任意一种或多种组合的工作状态；

所述供电设备与所述通信设备电性连接，用于向所述通信设备提供电能。