1.一种无压碳化硅静环,包括静环本体(1),其特征在于:所述静环本体(1)的内侧开设有半圆形缺口(2),所述半圆形缺口(2)的数量为四个,半圆形缺口(2)呈十字分布,静环本体(1)的表面设置有耐热层(3)、润滑层(4),所述耐热层(3)的一侧与静环本体(1)靠近耐热层(3)的一侧固定连接,耐热层(3)的另一侧与润滑层(4)靠近耐热层(3)的一侧固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种无压碳化硅静环,其特征在于:所述静环本体(1)的材质为碳化硅陶瓷。
3.根据权利要求1所述的一种无压碳化硅静环,其特征在于:所述耐热层(3)为ABS树脂制成。
4.根据权利要求1所述的一种无压碳化硅静环,其特征在于:所述润滑层(4)采用聚四氟乙烯制成。
5.根据权利要求1所述的一种无压碳化硅静环,其特征在于:所述静环本体(1)的底部外径大于静环本体(1)的顶部外径。