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专利号: 2020215478873
申请人: 嘉善天宇新材料有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种无压碳化硅静环,包括静环本体(1),其特征在于:所述静环本体(1)的内侧开设有半圆形缺口(2),所述半圆形缺口(2)的数量为四个,半圆形缺口(2)呈十字分布,静环本体(1)的表面设置有耐热层(3)、润滑层(4),所述耐热层(3)的一侧与静环本体(1)靠近耐热层(3)的一侧固定连接,耐热层(3)的另一侧与润滑层(4)靠近耐热层(3)的一侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种无压碳化硅静环,其特征在于:所述静环本体(1)的材质为碳化硅陶瓷。

3.根据权利要求1所述的一种无压碳化硅静环,其特征在于:所述耐热层(3)为ABS树脂制成。

4.根据权利要求1所述的一种无压碳化硅静环,其特征在于:所述润滑层(4)采用聚四氟乙烯制成。

5.根据权利要求1所述的一种无压碳化硅静环,其特征在于:所述静环本体(1)的底部外径大于静环本体(1)的顶部外径。