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专利号: 2020210705762
申请人: 无锡灿晶微电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种UT掩模版专用打磨装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的下方设置有步进电机(2),且步进电机(2)与工作台(1)通过螺钉连接,所述步进电机(2)输出端的上方设置有转轴(14),且转轴(14)的一端贯穿工作台(1)并延伸至工作台(1)的上方,所述转轴(14)的上方设置有打磨台(11),且打磨台(11)与转轴(14)转动连接,所述转轴(14)的外部设置有套环(22),且套环(22)与转轴(14)通过螺钉连接,所述套环(22)的上方设置有第二电动伸缩杆(21),第二电动伸缩杆(21)设置有两个,且第二电动伸缩杆(21)的一端与套环(22)通过螺钉连接,所述第二电动伸缩杆(21)的另一端与打磨台(11)转动连接,且两个第二电动伸缩杆(21)关于转轴(14)对称设置。

2.根据权利要求1所述的一种UT掩模版专用打磨装置,其特征在于:所述工作台(1)的上方设置有防护架(3),且防护架(3)与工作台(1)通过螺钉连接,所述防护架(3)的内侧设置有升降槽(4),升降槽(4)设置有两个。

3.根据权利要求2所述的一种UT掩模版专用打磨装置,其特征在于:所述防护架(3)的内部设置有升降块(6),且升降块(6)的两端均延伸至升降槽(4)的内部,所述升降块(6)与防护架(3)滑动连接,所述升降块(6)与防护架(3)之间设置有第一电动伸缩杆(5),且第一电动伸缩杆(5)的两端分别与升降块(6)和防护架(3)通过螺钉连接。

4.根据权利要求3所述的一种UT掩模版专用打磨装置,其特征在于:所述升降块(6)的外部设置有电机仓(9),所述电机仓(9)的内部设置有限位孔(16),所述升降块(6)的两侧均设置有凸块(15),且凸块(15)与升降块(6)设置为一体结构,所述凸块(15)的一端延伸至限位孔(16)的内部,且凸块(15)与电机仓(9)滑动连接,所述限位孔(16)的下方设置有螺纹孔(17),所述升降块(6)的下方设置有第一电机(7),且第一电机(7)与升降块(6)通过螺钉连接,所述第一电机(7)输出端的一侧设置有螺纹杆(8),且螺纹杆(8)的一端贯穿螺纹孔(17)并延伸至升降块(6)的内部,所述螺纹孔(17)与电机仓(9)螺纹连接,且螺纹孔(17)与升降块(6)转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种UT掩模版专用打磨装置,其特征在于:所述打磨台(11)的上端设置有置物槽(19),所述打磨台(11)的上方设置有UT掩模版(12),且UT掩模版(12)的一端延伸至置物槽(19)的内部,所述UT掩模版(12)的上方设置有夹持块(13),且夹持块(13)与UT掩模版(12)相贴合,所述打磨台(11)的外部设置有锁紧栓(20),锁紧栓(20)设置有四个,且锁紧栓(20)的一端贯穿打磨台(11)并与夹持块(13)相贴合。

6.根据权利要求4所述的一种UT掩模版专用打磨装置,其特征在于:所述电机仓(9)的内部设置有第二电机(10),且第二电机(10)与电机仓(9)通过螺钉连接,所述电机仓(9)的下方设置有打磨头(18),且打磨头(18)与第二电机(10)的输出端通过联轴器连接。