1.一种抛光垫,其特征在于:所述抛光垫包括从上至下依次设置的亲水聚酰胺层、热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层,所述亲水聚酰胺层表面设置有若干个凹槽,每个所述凹槽的深度小于所述亲水聚酰胺层的高度,每个所述凹槽内设置有填充部,所述填充部的高度小于所述凹槽的深度,所述填充部包括从上至下依次设置的第一填充层、第二填充层……第N填充层,相邻的两个所述填充层之间设置有分隔层,所述分隔层和所述填充层不连接。
2.根据权利要求1所述的一种抛光垫,其特征在于:所述N为2-5。
3.根据权利要求1所述的一种抛光垫,其特征在于:所述凹槽的纵截面为矩形、梯形、半圆形或三角形。
4.根据权利要求1所述的一种抛光垫,其特征在于:所述凹槽设置为1个,所述凹槽的横截面为网格形状。
5.根据权利要求1所述的一种抛光垫,其特征在于:所述填充层的厚度和所述分隔层的厚度比值为1-5。
6.根据权利要求1所述的一种抛光垫,其特征在于:所述亲水聚酰胺层的厚度为0.1mm-
10mm。
7.根据权利要求1所述的一种抛光垫,其特征在于:所述抛光垫为圆柱体形,所述抛光垫的直径为200mm-500mm。
8.一种抛光装置,其特征在于:包括权利要求1-7中任一项所述的一种抛光垫。