1.一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：包括支撑框架、导向装置、行星齿轮研磨装置、精密工件夹紧定位装置、直线驱动机构、控制器，所述直线驱动机构、行星齿轮研磨装置经控制器控制，所述支撑框架包括顶板、底板、支柱，所述顶板位于底板上方，所述顶板和底板经支柱固定连接，所述直线驱动机构固定在顶板上，所述精密工件夹紧定位装置固定在底板上，所述顶板和底板之间设有行星齿轮研磨装置，所述行星齿轮研磨装置经导向装置与支柱滑动连接，所述直线驱动机构驱动行星齿轮研磨装置沿支柱上下移动；

所述行星齿轮研磨装置包括刀具旋转太阳轮、刀具旋转太阳轮输入轴、刀具旋转行星轮、刀具旋转行星轮输出轴、第一伺服电机、第一固定座、第一盖板、研磨刀具，所述第一固定座经导向装置与支柱连接，第一固定座的上端设有第一盖板，第一盖板盖在第一固定座上，第一盖板与第一固定座之间设有刀具旋转太阳轮、刀具旋转行星轮，所述刀具旋转行星轮阵列设在刀具旋转太阳轮周圈并与刀具旋转太阳轮啮合，所述刀具旋转太阳轮与刀具旋转太阳轮输入轴固定套接，所述刀具旋转太阳轮输入轴的下端经第一轴承与第一固定座固定连接，上端经第二轴承与第一盖板固定连接并穿出第一盖板与第一伺服电机的输出轴固定连接，所述第一伺服电机的上端与直线驱动机构的伸缩杆固定连接，所述第一伺服电机与控制器连接，所述刀具旋转行星轮与刀具旋转行星轮输出轴固定套接，所述刀具旋转行星轮输出轴的上端经第二轴承与第一盖板固定连接并穿出第一盖板，下端经第一轴承与第一固定座固定连接并穿出第一固定座与研磨刀具固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：所述精密工件夹紧定位装置包括工件旋转太阳轮、工件旋转太阳轮输入轴、工件旋转行星轮、工件旋转行星轮输出轴、第二伺服电机、第二固定座、第二盖板、工件夹持装置，所述精密工件夹紧定位装置经控制器控制，所述精密工件夹紧定位装置经导向装置与支柱连接；所述第二固定座经导向装置与支柱连接，第二固定座的上端设有第二盖板，第二盖板盖在第二固定座上，第二盖板与第二固定座之间设有工件旋转太阳轮、工件旋转行星轮，所述工件旋转行星轮阵列设在工件旋转太阳轮周圈并与工件旋转太阳轮啮合，所述工件旋转太阳轮与工件旋转太阳轮输入轴固定套接，所述工件旋转太阳轮输入轴的上端经第四轴承与第二盖板固定连接，下端经第三轴承与第二固定座固定连接，并穿出第二固定座与第二伺服电机的输出轴固定连接，所述第二伺服电机与底板固定连接，所述第二伺服电机经控制器控制，所述第二伺服电机的输出轴与第一伺服电机的输出轴同速、反向旋转，所述工件旋转行星轮与工件旋转行星轮输出轴固定套接，所述工件旋转行星轮输出轴的上端经第四轴承与第二盖板固定连接，并穿出第二盖板与工件夹持装置固定连接，下端经第三轴承与第二固定座固定连接并穿出第二固定座。

3.根据权利要求1或2所述的一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：所述行星齿轮研磨装置还包括第一固定螺母，所述刀具旋转行星轮输出轴的上端穿出第一盖板并与第一固定螺母螺纹连接，所述刀具旋转行星轮输出轴的下端设有第一轴肩，所述第一轴肩与第一轴承的内圈抵接。

4.根据权利要求2所述的一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：所述精密工件夹紧定位装置还包括第二固定螺母，所述工件旋转行星轮输出轴的下端穿出第二固定座并与第二固定螺母螺纹连接，所述工件旋转行星轮输出轴的上端设有第二轴肩，所述第二轴肩与第四轴承的内圈抵接。

5.根据权利要求2或4所述的一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：所述工件夹持装置采用楔形锁紧装置，所述工件旋转行星轮输出轴上端设有楔形块放置槽、阀座放置槽，所述楔形块放置槽的前槽壁与后槽壁平行设置并分别与底部槽壁相垂直，所述楔形块放置槽一侧槽壁为斜面，另一侧与阀座放置槽相连通，所述楔形锁紧装置包括楔形块、紧固螺栓、胀紧弹簧，所述楔形块的上端面与下端面平行设置，前端面与后端面平行设置并分别与上端面、下端面相互垂直，所述楔形块一侧端面为导向斜面，另一侧端面为弧形面，所述楔形块放置在楔形块放置槽中，楔形块的导向斜面与楔形块放置槽的斜面槽壁斜度相同，所述胀紧弹簧套在紧固螺栓上，所述楔形块经紧固螺栓、胀紧弹簧与工件旋转行星轮输出轴螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：所述第一固定座下端固定连接有发射传感器，第二盖板上端固定连接有接收传感器，发射传感器位于接收传感器正上方，发射传感器、接收传感器分别与控制器连接。

7.根据权利要求1或2或4或6所述的一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：

所述研磨刀具与刀具旋转行星轮输出轴之间设有缓冲装置，所述研磨刀具经缓冲装置与刀具旋转行星轮输出轴固定连接，所述缓冲装置包括固定套、伸缩弹簧、刀具固定螺钉、缓冲挡板，所述刀具旋转行星轮输出轴下端设有开口向下的凹槽，所述固定套外侧设有凸台，所述固定套上端伸入凹槽内并与凹槽固定连接，所述凸台与刀具旋转行星轮输出轴下端面抵接，所述刀具固定螺钉可移动的插在固定套的轴心，刀具固定螺钉的下端与研磨刀具螺纹连接，所述研磨刀具上端固定连接有缓冲挡板，所述伸缩弹簧套在研磨刀具上并位于固定套凸台和缓冲挡板之间，所述伸缩弹簧的上端与固定套凸台抵触，下端与缓冲挡板抵触，所述固定套内孔侧壁上设有导向键槽，所述刀具固定螺钉的一侧固定连接有导向键，研磨刀具经导向键沿导向键槽上下移动。

8.根据权利要求1或2或4或6所述的一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：

所述研磨刀具与刀具旋转行星轮输出轴之间设有缓冲装置，所述研磨刀具经缓冲装置与刀具旋转行星轮输出轴固定连接，所述缓冲装置包括固定套、伸缩弹簧、刀具固定螺钉，所述刀具旋转行星轮输出轴下端设有开口向下的凹槽，所述固定套上端伸入凹槽内并与凹槽固定连接，下端与伸缩弹簧固定连接，所述伸缩弹簧套在研磨刀具上，所述刀具固定螺钉插在固定套的轴心并与固定套固定连接，刀具固定螺钉的下端与研磨刀具螺纹连接。

9.根据权利要求1或2或4或6所述的一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：

所述导向装置采用导向轴，导向轴设置有四根，所述四根导向轴的一端分别与底板的四个顶角固定连接，另一端经精密工件夹紧定位装置、行星齿轮研磨装置与顶板的四个顶角固定连接。

10.根据权利要求2或4或6所述的一种高精度内孔密封球面研磨装置，其特征在于：所述第二轴承采用第一推力球轴承、第二推力球轴承，所述刀具旋转行星轮输出轴、刀具旋转太阳轮输入轴分别经第一推力球轴承、第二推力球轴承穿出第一盖板，所述第三轴承采用第三推力球轴承、第四推力球轴承，所述工件旋转行星轮输出轴、工件旋转太阳轮输入轴分别经第三推力球轴承、第四推力球轴承穿出第二固定座。