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专利号: 202011430615X
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-10
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器,其特征在于:包括依次排列相连的阳极电极(5)、钙钛矿吸收层Ⅰ(1)、电子阻挡层(2)、钙钛矿吸收层Ⅱ(3)、电子传输层(4)和阴极电极(6);钙钛矿吸收层Ⅰ(1)和电子阻挡层(2)为P型;钙钛矿吸收层Ⅱ(3)和电子传输层(4)为N型;电子阻挡层(2)与钙钛矿吸收层Ⅱ(3)形成异质PN结。

2.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器,其特征在于:所述电子阻挡层(2)的材料采用Spiro‑OMeTAD。

3.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器,其特征在于:所述钙钛矿吸收层Ⅰ(1)的厚度为1‑2μm。

4.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器,其特征在于:所述钙钛矿吸收层Ⅰ(1)的厚度为1.5μm。

5.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器,其特征在于:所述钙钛矿吸收层Ⅱ(3)的厚度为31μm;所述电子传输层(4)的厚度为0.02μm‑0.1μm;所述阳极电极(5)的厚度可选为0.15μm‑0.3μm;所述阴极电极(6)的厚度可选为0.1μm‑0.5μm。

6.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器,其特征在于:所述阳极电极(5)的材料采用ITO;所述阴极电极(6)的材料采用Ag;所述电子传输层(4)的材料采用ZnO。

7.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器,其特征在于:所述的阳极电极(5)采用透明电极。

8.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器,其特征在于:所述的钙钛矿吸收层Ⅰ和钙钛矿吸收层Ⅱ采用同一种材料。

9.根据权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器,其特征在于:所述的钙钛矿吸收层Ⅰ(1)、电子阻挡层(2)、钙钛矿吸收层Ⅱ(3)、电子传输层(4)、阳极电极(5)和阴极电极(6)均呈正方形。

10.如权利要求1所述的一种高EQE和低FWHM的钙钛矿光电探测器的制作方法,其特征在于:步骤一、采用磷离子对电子传输层(4)进行掺杂,形成n型的电子传输层(4);

步骤二、在电子传输层(4)上进行钙钛矿异质外延生长,形成钙钛矿吸收层Ⅱ(3);在钙钛矿吸收层Ⅱ(3)内掺杂磷离子,形成n型的钙钛矿吸收层Ⅱ(3);

步骤三、在钙钛矿吸收层Ⅱ(3)上进行电子阻挡层(2)的异质外延生长,形成电子阻挡层(2);在电子阻挡层(2)中掺杂硼离子,形成p型的电子阻挡层(2);此时,钙钛矿吸收层Ⅱ(3)与电子阻挡层(2)形成异质PN结;

步骤四、在电子阻挡层(2)上进行钙钛矿吸收层Ⅰ(1)的异质外延生长,形成钙钛矿吸收层Ⅰ(1);在钙钛矿吸收层Ⅰ(1)中掺杂硼离子,形成p型的钙钛矿吸收层Ⅰ(1);

步骤五、将阴极电极(6)固定到n型电子传输层(4)的外侧;将阳极电极(5)固定到钙钛矿吸收层Ⅰ(1)的外侧。