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专利号: 2020113983181
申请人: 宁波锦越新材料有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种电子级超高纯铝晶析装置,包括转体和驱动装置(2),所述转体安装在坩埚(3)的上方,所述转体的下端伸入至所述坩埚(3)内的铝液液面(4)下,所述驱动装置(2)与所述转体连接,用于驱动所述转体转动,其特征在于:所述转体内设有冷却气路(5),将冷却气体充入至所述冷却气路(5)内对所述转体进行降温,进而在所述转体的下端凝固堆积形成高纯度铝结晶物。

2.根据权利要求1所述的电子级超高纯铝晶析装置,其特征在于:所述冷却气路(5)包括冷却气体从上至下流通的进气通道(51)和冷却气体从下至上流通的出气通道(52),所述进气通道(51)和所述出气通道(52)在所述转体内部连通,所述转体位于坩埚(3)上方的部分设有与所述进气通道(51)连通的进气口(53),所述转体位于铝液液面(4)上方的部分设有与所述出气通道(52)连通的出气口(54)。

3.根据权利要求2所述的电子级超高纯铝晶析装置,其特征在于:所述坩埚(3)内于铝液液面(4)的上方设有气体保护腔(31),所述坩埚(3)上设有向所述气体保护腔(31)通入保护气体的保护气路(6)。

4.根据权利要求3所述的电子级超高纯铝晶析装置,其特征在于:所述保护气路(6)包括第一进气管路(61)和第一出气管路(62),所述第一进气管路(61)连接外接充气装置(63)和气体保护腔(31),用于向所述气体保护腔(31)内充入保护气体,所述第一出气管路(62)用于连通气体保护腔(31)和外界,用于将所述气体保护腔(31)内的气体排出。

5.根据权利要求3所述的电子级超高纯铝晶析装置,其特征在于:所述出气口(54)位于所述气体保护腔(31)内,所述冷却气体为不与铝液反应的保护气体,通过向所述冷却气路(5)中通入压缩的保护气体对所述转体进行降温,经所述冷却气路(5)的保护气体通过所述出气口(54)排出并充入至所述气体保护腔(31)内使得冷却气体冷却完后再次承当其保护气体作用。

6.根据权利要求2所述的电子级超高纯铝晶析装置,其特征在于:所述进气通道(51)呈螺旋状和/或竖直设置,所述出气通道(52)呈螺旋状和/或竖直设置。

7.根据权利要求3所述的电子级超高纯铝晶析装置,其特征在于:所述转体的下端套设有石墨管(7),所述石墨管(7)的至少部分伸入至所述铝液液面(4)下方。

8.根据权利要求7所述的电子级超高纯铝晶析装置,其特征在于:所述坩埚(3)的顶部开口处设有第一密封盖(32),所述第一密封盖(32)的中心位置设有第一通孔(321),所述转体的下端穿过所述第一通孔(321)伸入至所述坩埚(3)内,并且所述转体能够相对于所述第一密封盖(32)转动。

9.根据权利要求8所述的电子级超高纯铝晶析装置,其特征在于:所述坩埚(3)内还设有第二密封盖(33),所述第二密封盖(33)与所述第一密封盖(32)间隔设置,所述气体保护腔(31)位于铝液液面(4)与所述第二密封盖(33)之间,所述第二密封盖(33)的中心位置设有第二通孔(331),所述转体的下端依次穿过所述第一通孔(321)和所述第二通孔(331)伸入至所述坩埚(3)内,并且所述转体能够相对于所述第二密封盖(33)转动。

10.根据权利要求9所述的电子级超高纯铝晶析装置,其特征在于:所述转体包括从上至下同轴连接的第一转体(11)和第二转体(12),所述第二转体(12)的直径大于所述第一转体(11)的直径,所述第二转体(12)的上端伸出所述第一密封盖(32);所述石墨管(7)套设在所述第二转体(12)的下端,并且所述石墨管(7)的顶端伸出所述第二密封盖(33);所述第二转体(12)的上端外侧套设有耐高温管(8)。