1.一种真空脱泡装置，其特征在于，它包括进料装置、脱泡装置、温度显示仪，所述进料装置包括水平导轨、竖直导轨、驱动液压缸、升降液压缸、双层圆形密封板、输料架，盛料容器、滑动板、压力传感器，所述脱泡装置包括矩形腔体、载料台、底座、加热器、外壳、进气法兰、出气法兰，所述驱动液压缸固定在水平导轨的侧面板上，升降液压缸固定在竖直导轨的水平面板上，将贴合的硅片置于盛料容器，使用进料装置可将硅片送入矩形腔体内的载料台上，进气法兰和出气法兰分别外接钢瓶和真空泵，先抽真空，后充入惰性气体，利用加热器对矩形腔体进行加热，在真空和高温环境下去除贴合硅片内部产生的气泡。

2.根据权利要求1所述的一种真空脱泡装置，其特征是：载料台上表面安装有热电偶。

3.根据权利要求1所述的一种真空脱泡装置，其特征是：矩形腔体侧面、上端面由里到外分别为加热器，外壳，加热器与外壳之间填充有保温棉。

4.根据权利要求1所述的一种真空脱泡装置，其特征是：初始位置时，滑动板侧面距矩形腔体入口端面的距离等于盛料容器中心与载料台中心的水平距离，且初始位置时滑动板略高于载料台，滑动板上安装有压力传感器。

5.根据权利要求1所述的一种真空脱泡装置，其特征是：滑动板侧面固定有双层圆形密封板和输料架，输料架位于双层圆形密封板的下部。

6.根据权利要求1所述的一种真空脱泡装置，其特征是：驱动液压缸的行程等于初始位置双层圆形密封板端面与矩形腔体入口端面的水平距离。

7.根据权利要求1所述的一种真空脱泡装置，其特征是：初始位置时，升降液压缸位于最高位置，双层圆形密封板的中心与矩形腔体的圆形入料口中心的垂直距离等于升降液压缸的行程，且大于盛料容器上端面与矩形腔体下端面的距离，保证双层圆形密封板与矩形腔体的圆形入料口定位准确，避免盛料容器与矩形腔体产生干涉。