1.一种真空脱泡设备，其特征在于，包括安装架，进料装置，脱泡装置，所述进料装置包括载料板，液压缸，导轨，盛料容器，所述脱泡装置包括内腔，外腔，盲孔法兰，进气法兰，出气法兰，热电偶，所述液压缸固定于安装架底部，导轨固定于液压缸的活塞上，所述进气法兰与出气法兰均置于外腔的侧面板，所述内腔及外腔均固定在安装架上；将硅片放置于盛料容器中，利用进料装置将其送入到内腔内，进气法兰外接惰性气体钢瓶，出气法兰接真空泵，先抽真空，再充入惰性气体，利用内腔侧面的加热器对内腔进行加热，热反射板防止热量散失，除去硅片贴合时产生的气泡。

2.根据权利要求1所述的一种真空脱泡设备，其特征是：盲孔法兰位于外腔上端面，可接温度显示仪。

3.根据权利要求1所述的一种真空脱泡设备，其特征是：内腔上表面安装有热电偶。

4.根据权利要求1所述的一种真空脱泡设备，其特征是：加热器上均匀分布着加热管。

5.根据权利要求1所述的一种真空脱泡设备，其特征是：内腔侧面由里到外分别安装有加热器和热反射板。

6.根据权利要求1所述的一种真空脱泡设备，其特征是：进气法兰和出气法兰均与气孔网板相连，气孔网板上均匀分布着圆孔。

7.根据权利要求1所述的一种真空脱泡设备，其特征是：载料板上的两个圆形密封盖与内腔的底部出口配合，载料板与安装架端面相配合。