1.一种铁基合金表面强耐蚀性高铬复合渗氮层的制备方法，其特征在于：该方法具体包含步骤如下：

1）铁基合金工件表面清洗

将铁基合金工件放入装有丙酮的容器中，被完全浸没，然后将所述容器放入超声波清洗器中，清洗20～45 min，取出所述铁基合金工件用压缩空气吹干表面后置于干燥箱中，干燥箱设定温度100～200 ℃，烘干10～20 min；

2）铁基合金工件离子除杂

将经过步骤1）处理的铁基合金工件悬挂于等离子体增强磁控溅射设备的真空室内，开‑3 启真空抽气系统，待真空度≤3×10 Pa后，开启加热管对真空室进行加热，先加热至150～‑3  ‑3 

200℃，待真空度降至≤3×10 Pa，再加热到300～400 ℃，待真空度降至≤3×10 Pa，通入140 200 sccm Ar 5～10 min，将真空室中残存的杂气排除；预热灯丝，调节电流至20～~

30 A；按体积比5:4通入Ar和H2的混合气体，对基体施加负偏压‑100 ~ ‑400 V，溅射除杂20～30 min；

3）靶清洗

开启等离子体增强磁控溅射设备的靶电源，设定靶功率为1～5 kW，频率50～60 kHz，占空比50～80 %，清洗靶表面，至靶电压稳定在350 400V；

~

4）沉积纯Cr层

关闭氢气，所述等离子体增强磁控溅射设备的真空室压力保持在0.5 1Pa，基体偏压调~节为‑50 ‑100 V，打开挡板，对经过步骤2）处理的铁基合金工件沉积纯铬0.5 2 h，之后冷~ ~却至室温取出；

5）激光助渗

经过步骤4）处理的铁基合金工件放到二氧化碳气体激光器的工作台上；调节激光器的焦距300 500 mm，光斑直径2 10 mm，功率 400～1300 W，激光探头以扫描速度 300～600 ~ ~mm/min对所述铁基合金工件表面进行扫描，直至整个表面被均匀扫描，关闭二氧化碳气体激光器，将所述铁基合金工件在工作台上空冷至室温取出；

6）离子渗氮

经过步骤5）处理的铁基合金工件放到等离子体增强磁控溅射系统的真空室内，开启真‑3 空抽气系统，待真空度≤3×10 Pa后，开启加热管对真空室进行加热，通入100 200 sccm~的N2，灯丝电流调节为24~40 A，基体偏压调节为‑300~‑600V，温度控制在400～600 ℃，真空室压力保持在0.5 2 Pa，渗氮处理2 8 h；停止加热，保持氮气气氛下冷却至室温取出，完~ ~成铁基合金表面强耐蚀性高铬复合渗氮层制备。

2.根据权利要求1所述的一种铁基合金表面强耐蚀性高铬复合渗氮层的制备方法，其特征在于：高铬复合渗氮层的表面硬度≥20GPa，距表面深度1 5 µm内形成铬的原子百分比~为20‑40 %，氮含量由表及里呈梯度分布，氮的原子百分比由20%以上逐渐降低至1.7%左右。