1.一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构,其特征在于:所述双参数传感结构是基于在三个并行排列的一维光子晶体纳米束波导上刻蚀呈周期排列的空气孔而形成的微腔结构进行设计的,由位于绝缘层上方三个并行排列的一维光子晶体纳米束腔构成,所述一维光子晶体纳米束波导为圆形空气柱在横截面为矩形的光波导上呈周期排列而形成的一维光子晶体纳米束结构。
2.根据权利要求1所述的一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构,其特征在于:所述三个并行排列的一维光子晶体纳米束腔是基于横截面为矩形的硅波导分别引入晶格常数以及半径不同的圆形空气孔并基于法诺共振相互干涉形成的双参数传感结构,包括位于中间的带有宽带隙的纳米束微腔(1)、位于纳米束微腔(1)一侧的空气模纳米腔(2)和位于纳米束微腔(1)另一侧的介电模纳米腔(3);纳米束微腔(1)具有较宽的线宽,空气模纳米腔(2)是通过改变该硅波导的宽度,使其呈高斯线性分布,但固定空气孔半径不变,得到较窄的共振线宽;介电模纳米腔(3)是通过改变空气孔半径,使其呈高斯线型变化而固定硅波导宽度不变,同样得到较窄的共振线宽。
3.根据权利要求2所述的一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构,其特征在于:所述纳米束微腔(1)由半径不同的五个空气孔以晶格常数为a1分布在宽度为d1的硅波导中构成;所述空气模纳米腔(2)由16个半径相同的空气孔以晶格常数为a2分布在宽度为d2的呈高斯线性分布的硅波导中构成;所述介电模纳米腔(3)由25个半径成高斯线性以晶格常数为a3分布在宽度为d3的硅波导中构成。
4.根据权利要求3所述的一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构,其特征在于:所述硅波导厚度为T=220nm,折射率为3.48。
5.根据权利要求2或3任一项所述的一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构,其特征在于:通过分析计算得空气模纳米腔(2)的折射率灵敏度为377.2nm/RIU,温度灵敏度为101pm/K。
6.根据权利要求2或3任一项所述的一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构,其特征在于:通过分析计算得介电模纳米腔(3)的折射率灵敏度为194nm/RIU,温度灵敏度为261pm/K。
7.根据权利要求1所述的一种基于一维光子晶体纳米束腔的双参数传感结构,其特征在于:所述绝缘层为二氧化硅绝缘层;二氧化硅绝缘层厚度为2.2µm,折射率为1.4。