1.一种微流体介电泳分离装置，其特征在于，包括：

微流体通道，用于使包含颗粒的流体流过；

电极，与所述微流体通道对应设置，所述电极包括沿流体的流动方向依次设置的第一电极区域和第二电极区域，所述第一电极区域靠近所述微流体通道的入口，位于所述第一电极区域的两侧的第一接地电极朝向所述微流体通道内的一侧为弧形电极阵列，位于所述第二电极区域的中部的第二中央电极为柠檬形电极阵列。

2.根据权利要求1所述的微流体介电泳分离装置，其特征在于，所述第一电极区域与所述第二电极区域的长度比为0.1-1。

3.根据权利要求1所述的微流体介电泳分离装置，其特征在于，位于所述第一电极区域的中部的第一中央电极为平面电极，所述第一中央电极的轮廓为平滑的直线；位于所述第二电极区域的两侧的第二接地电极为平面电极，所述第二接地电极的轮廓为平滑的直线。

4.根据权利要求3所述的微流体介电泳分离装置，其特征在于，所述微流体通道呈曲线形状，所述微流体通道包括弯曲处和无弯曲处，所述无弯曲处的宽度为8h-15h，其中，h表示所述微流体通道的高度，所述微流体通道的高度为10μm-80μm。

5.根据权利要求4所述的微流体介电泳分离装置，其特征在于，所述第一接地电极的弧形电极阵列包括多个弧形部，多个所述弧形部沿所述微流体通道的长度方向间隔一定的距离阵列设置，所述弧形部为圆弧结构，所述弧形部的半径为0.3h-h，相邻的所述弧形部之间的间距为0.6h-2h，所述第一接地电极与所述第一中央电极之间的间距为0.6h-1.2h，所述第一接地电极与水平方向的夹角为0.5°-5°。

6.根据权利要求3所述的微流体介电泳分离装置，其特征在于，所述柠檬形电极阵列包括多个柠檬形电极单元，相邻的所述柠檬形电极单元之间相互连接导通，每个所述柠檬形电极单元上均设有椭圆形通孔。

7.根据权利要求6所述的微流体介电泳分离装置，其特征在于，所述柠檬形电极单元的长轴大小为8h-15h，所述柠檬形电极单元的短轴大小为4h-8h；所述第二中央电极的中心与所述第二接地电极之间的间距为0.8h-1.2h；所述柠檬形电极阵列中，相邻两个所述柠檬形电极单元的顶点处的间距为4h-8h；所述柠檬形电极单元内，所述椭圆形孔的长轴与水平方向的夹角为10°-40°，所述椭圆形孔的长轴为5h-7h，所述椭圆形孔的短轴为2.5h-3.5h，其中，h表示所述微流体通道的高度。

8.根据权利要求6所述的微流体介电泳分离装置，其特征在于，所述柠檬形电极阵列包括沿流体的流动方向设置的第一阵列段和第二阵列段，所述第一阵列段的多个椭圆形孔向上倾斜，所述第二阵列段的多个椭圆形孔向下倾斜。

9.一种微流体介电泳分离装置制作方法，其特征在于，包括：

在衬底上光刻负胶图案,并通过浇灌加工出微流体通道；

在玻璃基板上使用正胶光刻出电极图案，并使用刻蚀工艺形成电极；

将所述微流体通道与刻蚀有所述电极的玻璃基板对准键合。

10.根据权利要求9所述的微流体介电泳分离装置制作方法，其特征在于，所述微流体通道采用聚二甲基硅氧烷制作，所述电极使用ITO导电材料制作。