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专利号: 2020107148448
申请人: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
更新日期:2025-03-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种冷却系统,其特征在于,包括控制装置、承载台以及通过进水口和出水口与所述承载台管道连通的冷却机,所述承载台上设置有第一温度传感器,以采集所述承载台的第一温度,所述冷却机的进水口设置有第二温度传感器,以采集所述冷却机进水口的第二温度,所述承载台用于放置待冷却芯片,所述第一温度传感器、所述第二温度传感器以及所述冷却机均与所述控制装置电连接;

所述控制装置用于根据获取的所述第一温度与所述第二温度,调节所述冷却机出水口的水量;

所述第一温度传感器用于采集所述承载台表面的第一温度,所述控制装置用于依据所述第一温度与所述第二温度的差值调节所述冷却机出水口的水量;其中,当所述第一温度与所述第二温度的差值大于第一阈值时,所述控制装置用于降低所述冷却机出水口的水量,以降低输入所述承载台的水量;

当所述第一温度与所述第二温度的差值小于第二阈值时,所述控制装置用于增加所述冷却机出水口的水量,以增加输入所述承载台的水量,其中,所述第一阈值大于所述第二阈值。

2.如权利要求1所述的冷却系统,其特征在于,所述第一温度传感器用于采集所述承载台表面的第一温度,所述控制装置还用于根据获取的所述第一温度与所述第二温度,调节输入所述承载台管道的水温;其中,当所述第一温度与所述第二温度的差值大于第一阈值时,所述控制装置用于提升输入所述承载台管道的水温;

当所述第一温度与所述第二温度的差值小于第二阈值时,所述控制装置用于降低输入所述承载台管道的水温;其中,所述第一阈值大于所述第二阈值。

3.如权利要求2所述的冷却系统,其特征在于,所述冷却系统还包括冷却液注入管道,所述冷却液注入管道也与所述承载台连通,并用于向所述承载台管道注入冷却液;且所述冷却液注入管道注入的冷却液的温度小于所述冷却机的进水口的水温;

所述控制装置用于调节所述冷却液注入管道与所述冷却机进水口的注入比例。

4.如权利要求3所述的冷却系统,其特征在于,所述冷却机的进水口与出水口均设置有流量计,所述控制装置还用于根据获取的所述冷却机的出水口的水量,调节所述冷却机的进水口的水量,以使所述冷却机的进水口与出水口的水量相等。

5.如权利要求1所述的冷却系统,其特征在于,所述控制装置包括上位机与温度比对控制装置,所述上位机分别与所述第一温度传感器、所述第二温度传感器以及所述温度比对控制装置电连接,所述温度比对控制装置还与所述冷却机电连接;所述上位机用于获取所述第一温度传感器与第二温度传感器传输的第一温度与第二温度,并将所述第一温度与所述第二温度传输至所述温度比对控制装置,所述温度比对控制装置用于依据所述第一温度与所述第二温度的差值调节所述冷却机出水口的水量。

6.一种冷却系统控制方法,其特征在于,包括:

获取承载台的第一温度与冷却机进水口的第二温度,所述承载台用于放置待冷却芯片;

当所述第一温度与所述第二温度的差值大于第一阈值时,提升输入所述承载台管道的水温;

当所述第一温度与所述第二温度的差值小于第二阈值时,降低输入所述承载台管道的水温;

依据所述第一温度与所述第二温度调节冷却机出水口输送至所述承载台的水量。

7.如权利要求6所述的冷却系统控制方法,其特征在于,所述依据所述第一温度与所述第二温度调节所述冷却机出水口输送至所述承载台的水量包括:当所述第一温度与所述第二温度的差值大于第一阈值时,降低所述冷却机出水口的水量,以降低输入所述承载台的水量;

当所述第一温度与所述第二温度的差值小于第二阈值时,增加所述冷却机出水口的水量,以增加输入所述承载台的水量,其中,所述第一阈值大于所述第二阈值。

8.如权利要求6所述的冷却系统控制方法,其特征在于,提升输入所述承载台管道的水温包括:提升所述冷却机出水口的水量比例,并降低冷却液注入管道注入的冷却液的比例;

所述降低输入所述承载台管道的水温的步骤包括:

降低所述冷却机出水口的水量比例,并提升所述冷却液注入管道注入的冷却液的比例;其中,所述冷却液注入管道与所述承载台连通,并用于向所述承载台管道注入冷却液,且所述冷却液注入管道注入的冷却液的温度小于所述冷却机的进水口的水温。

9.如权利要求6所述的冷却系统控制方法,其特征在于,所述冷却机的进水口与出水口均设置有流量计,所述方法还包括:分别获取所述冷却机的进水口和出水口的流量值;

调节所述冷却机的进水口的水量以使所述冷却机的进水口的水量与所述冷却机的出水口的水量相等。