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一种用于晶圆检测的除尘装置
￥13500
专利号： 2020106625952
申请人： 合肥千聚环保科技有限公司
专利类型：发明专利
专利状态：已下证
更新日期：2025-11-28
缴费截止日期： 暂无
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国家局暂未公布该信息
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