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专利号: 2020106100263
申请人: 嘉兴尚牧智能装备有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:S1、在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构;

S2、在微针阵列结构表面制备pn结;

S3、在硅片上微针阵列结构表面制备金属纳米颗粒,得到硅基贴片。

2.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S1包括:将硅片置于碱溶液中,通过化学腐蚀工艺在硅片表面制备金字塔结构;

将硅片置于腐蚀液中,通过化学腐蚀修饰形成具有尖锐塔尖的微针阵列结构。

3.根据权利要求2所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S1具体为:将(100)晶向的硅片置于碱溶液中腐蚀,碱溶液中碱浓度为0.5~10%,反应温度为40~90℃,反应时间为1~60min。

4.根据权利要求3所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述金字塔结构的尺寸为

2~200μm。

5.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S1前还包括:在硅片表面利用图形曝光、光阻显影、铬层刻蚀步骤形成阵列掩膜。

6.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S2具体为:在微针阵列结构表面通过高温扩散或离子注入方式制备pn结,pn结表面的方块电阻为

10~1000ohm/方块。

7.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述金属纳米颗粒为Ag纳米颗粒。

8.根据权利要求7所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S3具体为:将硅片放入到浓度为AgNO3的水溶液或含有AgNO3的氢氟酸溶液中反应,AgNO3的浓度为

0.0005mol/L~5mol/L,反应温度为25~90℃,反应时间为1min~30min,Ag离子被还原生成Ag纳米颗粒附着在微针阵列结构表面,得到硅基贴片。

9.一种硅基贴片,其特征在于,所述硅基贴片通过权利要求1~8中任一项所述的制备方法制备而得。