1.一种硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:S1、在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构;
S2、在微针阵列结构表面制备pn结;
S3、在硅片上微针阵列结构表面制备金属纳米颗粒,得到硅基贴片。
2.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S1包括:将硅片置于碱溶液中,通过化学腐蚀工艺在硅片表面制备金字塔结构;
将硅片置于腐蚀液中,通过化学腐蚀修饰形成具有尖锐塔尖的微针阵列结构。
3.根据权利要求2所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S1具体为:将(100)晶向的硅片置于碱溶液中腐蚀,碱溶液中碱浓度为0.5~10%,反应温度为40~90℃,反应时间为1~60min。
4.根据权利要求3所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述金字塔结构的尺寸为
2~200μm。
5.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S1前还包括:在硅片表面利用图形曝光、光阻显影、铬层刻蚀步骤形成阵列掩膜。
6.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S2具体为:在微针阵列结构表面通过高温扩散或离子注入方式制备pn结,pn结表面的方块电阻为
10~1000ohm/方块。
7.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述金属纳米颗粒为Ag纳米颗粒。
8.根据权利要求7所述的硅基贴片的制备方法,其特征在于,所述步骤S3具体为:将硅片放入到浓度为AgNO3的水溶液或含有AgNO3的氢氟酸溶液中反应,AgNO3的浓度为
0.0005mol/L~5mol/L,反应温度为25~90℃,反应时间为1min~30min,Ag离子被还原生成Ag纳米颗粒附着在微针阵列结构表面,得到硅基贴片。
9.一种硅基贴片,其特征在于,所述硅基贴片通过权利要求1~8中任一项所述的制备方法制备而得。