1.一种离子镀旋转直线复合式引弧装置,其特征在于:包括驱动组件、引弧杆(1)、引弧针(2),所述引弧针(2)安装在引弧杆(1)的一端,所述驱动组件可驱动引弧杆(1)沿直线运动以及可驱动引弧杆(1)旋转运动。
2.根据权利要求1所述的离子镀旋转直线复合式引弧装置,其特征在于:所述驱动组件包括直线驱动装置(3)、与直线驱动装置(3)联动配合的导向柱(4),所述引弧杆(1)上设有导向槽(103),所述导向柱(4)的端部位于导向槽(103)内,所述直线驱动装置(3)驱动引弧针(2)沿直线运动以及所述引弧针(2)相对直线驱动装置(3)可转动,所述导向槽(103)至少部分为旋转导向槽(104)。
3.根据权利要求2所述的离子镀旋转直线复合式引弧装置,其特征在于:所述引弧杆(1)和驱动组件上设有随所述引弧杆(1)沿直线往返运动而使引弧针(2)的电流闭合/断开的接电组件。
4.根据权利要求3所述的离子镀旋转直线复合式引弧装置,其特征在于:所述导向柱(4)接电,所述导向槽(103)包括接电区(105)和绝缘区(106),所述接电区(105)设置在导向槽(103)的一端端部,当导向柱(4)与接电区(105)相接触时,所述导向柱(4)与引弧针(2)之间形成电连接,当导向柱(4)与绝缘区(106)相接触时,所述导向柱(4)与引弧针(2)之间的电流断开。
5.根据权利要求2所述的离子镀旋转直线复合式引弧装置,其特征在于:所述直线驱动装置(3)与引弧杆(1)之间通过关节球轴承(5)连接。
6.根据权利要求2所述的离子镀旋转直线复合式引弧装置,其特征在于:所述驱动组件包括支架(6),所述直线驱动装置(3)和导向柱(4)固定在支架(6)上。
7.根据权利要求6所述的离子镀旋转直线复合式引弧装置,其特征在于:所述引弧杆(1)上设有密封组件,所述密封组件固定在支架(6)上。
8.根据权利要求7所述的离子镀旋转直线复合式引弧装置,其特征在于:所述密封组件包括密封套筒(7),所述密封套筒(7)套设在引弧杆(1)外且与支架(6)固定连接,所述支架(6)设有凸起的轴肩(601),所述轴肩(601)伸入密封套筒(7)内,所述密封套筒(7)内壁上设有凸起的环肩(701),所述轴肩(601)与环肩(701)之间设有第一油封(8)和第二油封(9),所述轴肩(601)与第一油封(8)、环肩(701)与第二油封(9)形成双向轴密封结构。
9.根据权利要求1所述的离子镀旋转直线复合式引弧装置,其特征在于:所述引弧杆(1)端部沿垂直轴向的方向设有至少两个与引弧针(2)适配的引弧针安装孔(102),以及,沿轴向方向设有螺栓孔(101),所述螺栓孔(101)与所有的引弧针安装孔(102)相通,所述螺栓孔(101)内螺纹连接有固定螺栓(10)。
10.一种设有权利要求1-9任一项所述的离子镀旋转直线复合式引弧装置的离子镀膜装置。