1.一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵，其特征在于：

热气泡驱动微泵包括PDMS芯片(5)、带有凹穴(51)的加热盘(7)、玻璃基底(6)、励磁线圈(8)、制冷装置(4)；其中，PDMS芯片(5)包括进液口(3)、出液口(1)、泵腔(13)、扩散口(15)和喷嘴(14)；采用MEMS微加工工艺将带有凹穴(51)的加热盘(7)制作在玻璃基底(6)上；微泵控制系统由计算机(30)、脉冲发生器(36)、数字电流表(33)、直流电源(44)、电容(18)、可编程控制器(27)、继电器I(22)、继电器II(39)、制冷装置(4)和微泵(2)组成；

其中，脉冲发生器(36)给励磁线圈(8)提供交变电流，通过可编程控制器(27)和继电器I(22)来控制微泵的加热时间t1和间歇时间t2；直流电源(44)给制冷装备(4)提供直流电，通过可编程控制器(27)和继电器II(39)来控制制冷装备(4)的断电时间t3和制冷时间t4；

所述进液口(1)、出液口(3)贯穿PDMS芯片(5)，与扩散口(15)和喷嘴(14)相连接；泵腔(13)直径6-8mm制作在PDMS芯片(5)上，泵腔(13)与扩散口(15)和喷嘴(14)相连通；

所述扩散口(15)和喷嘴(14)的最窄处宽度100-300μm，角度为10°-15°，长度为2.5-

3mm，深度0.1-0.4mm，分别与进液口(3)、出液口(1)和泵腔(13)相互连通；

所述带有凹穴(51)的加热盘(7)，加工在玻璃基底(6)的上表面；凹穴(51)的直径为10-

80μm，当加热盘(7)的温度达到热气泡的成核温度时，这些被密封的气体会优先产生热气泡，实现热气泡的定点生长；

所述加热盘(7)上的12个凹穴(51)制作成两排，呈扩散状对称分布在泵送流向中心线两侧，两排夹角为30°-40°；两排凹穴(51)最宽相距3-5mm，两排凹穴(51)最窄处相距500-

800μm；

将带有加热盘(7)的玻璃基底(6)的上表面和PDMS芯片(5)通过键合工艺封装在一起，使加热盘(7)位于泵腔(13)的中央；

所述玻璃基片表面制备PDMS芯片(5)阳模；

所述励磁线圈(8)线圈匝数为7匝到20匝，在线圈周围设计一层导热硅胶，用于对励磁线圈(8)导热，并将励磁线圈(8)固定在玻璃基底(6)的下表面，励磁线圈(8)和泵腔中的加热盘(7)中心对齐；

所述的励磁线圈(8)与脉冲发生器(36)相串联，给励磁线圈(8)通入交流电流；

所述制冷装置(4)采用帕尔贴进行制冷，制冷装置(4)位于励磁线圈(8)的下方，对励磁线圈(8)、玻璃基底(6)和加热盘(7)进行冷却；

所述的制冷装置(4)与直流电源(44)相串联，给制冷装置(4)通入直流电流。

2.根据权利要求1所述的一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵，其特征在于：

微泵控制系统通过可编程控制器(27)控制继电器I(22)实现感应加热电路的控制，和通过编程控制器(27)控制继电器II(39)的通断状态实现制冷电路的控制；继电器I(22)与励磁线圈(8)串联，实现控制励磁线圈(8)的导通时间t1和间断时间t2；继电器II(39)与制冷装置(4)串联，实现控制直流电源(44)供给制冷装置(4)的断电时间t3和制冷时间t4；所述的脉冲导通的时间是t1，间断的时间是t2，电流是I1；脉冲的频率选为20kHz-1MHz，t1设为

0.2s-2s,t2设为1s-2s，电流I1设计为0.1A-4A；当励磁线圈(8)导通时，制冷装置(4)不工作，因此，制冷装置(4)断电时间t3与t1同步设为0.2s-2s，制冷时间t4设为1s-2s，电流I2设计为

0.1A～5A。

3.根据权利要求1所述的一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵，其特征在于：

给励磁线圈(8)通入交变电流，其周围会产生交变磁场；在交变磁场的作用下，金属加热盘(7)内产生电涡流，进而生成焦耳热；该焦耳热通过热传导对加热盘(7)表面液体进行加热，当液体达到一定温度后，凹穴(51)会生成定点生长气泡(16)，微泵每个工作周期分为两个阶段：(1)给励磁线圈(8)通入交变电流，在感应热的作用下热气泡会定点生长在加热盘(7)上按扩散分布的凹穴(51)处；泵腔内的主流道上没有气泡生长，液体从进液口(3)和出液口(1)排出，并且在扩散口(15)处排出的液体要多于从喷嘴(14)处排出的液体；(2)励磁线圈(8)断电，热气泡收缩，液体从进液口(3)和出液口(1)流入泵腔(13)，相应的在喷嘴(14)处流入的液体多于在扩散口(15)处流入的液体；因此，在一个泵送周期内，从喷嘴(14)到扩散口(15)会产生一个净流量；热气泡周期性的膨胀和收缩便实现了微泵的泵送功能；

在热气泡冷却收缩阶段，使用制冷装置(4)对金属加热盘(7)和激励线圈(8)产生的热量进行冷却散热，加快热汽泡的冷却收缩速度。

4.制备如权利要求1所述的一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵的方法，其特征在于：

第一步，使用去离子水清洗玻璃基片，并在烘胶台上烘干；

第二步，在玻璃基片上旋涂一层SU-8胶48，利用热板进行前烘，然后自然冷却，使SU-8胶固化，将PDMS芯片掩膜板置在固化后的SU-8胶表面上方，进行紫外线曝光，SU-8胶曝光后，在热板上进行后烘热处理，然后自然冷却，经显影、清洗后，玻璃基片上留下凸起的SU-8胶模具；

第三步，在SU-8胶模具的泵腔上方粘结一个圆柱型金属阳模，增加泵腔的深度；金属阳模的直径与泵腔的直径一致；

第四步，所示，将带有SU-8胶模具的玻璃基片放置在与其尺寸相同的矩形槽模具中，浇注PDMS，加热固化；

第五步，将固化后的PDMS从玻璃基片上剥离，得到PDMS芯片，使用打孔器在PDMS芯片上加工出进液口及出液口；

第六步，采用键合方法把制有加热盘的玻璃基底和PDMS芯片键合在一起，同时保证加热盘位于泵腔的中央；然后用导热硅胶把励磁线圈固定在微泵和制冷装置中间。