1.一种全柔性电容式三维力触觉传感器，其特征是：主要由柔性腔体(1)、柔性基底(2)、柔性电极、半圆环形凹槽(5)和半球体触头(6)组成，所述的柔性电极包括方形柔性感应电极(3)和圆形柔性公共极板(4)，所有的柔性电极分别通过导线引出并接地构成公共端；所述的柔性腔体(1)为圆柱筒体，柔性基底(2)为圆板，柔性基底(2)下表面的圆心设置在柔性腔体(1)的圆心处，柔性腔体(1)的底部粘连在柔性基底(2)的上表面；四个方形柔性感应电极(3)设置成2×2阵列结构并粘连在柔性基底(2)的上表面，其对称中心点设置在柔性基底(2)的圆心处；圆形柔性公共极板(4)粘连在半球体触头(6)的底面，其对称中心点设置在半球体触头(6)底面的圆心处；半圆环形凹槽(5)环绕半球体触头(6)底部粘连，并共同粘连在柔性腔体(1)的内表面；半圆环形凹槽(5)还与圆形柔性公共极板(4)粘连；圆形柔性公共极板(4)和四个方形柔性感应电极(3)之间隔一层空气层作为电介质层，同时，圆形柔性公共极板(4)在柔性基底(2)上的垂直投影区域始终包含四个方形柔性感应电极(3)的区域。

2.根据权利要求1所述的一种全柔性电容式三维力触觉传感器，其特征是：所述的粘连均采用硅橡胶作为粘接剂。

3.根据权利要求1或2所述的一种全柔性电容式三维力触觉传感器，其特征是：所述柔性公共极板(4)的半径加上半圆环型凹槽(5)的外直径等于柔性腔体(1)的半径；柔性公共极板(4)的半径加上半圆环型凹槽(5)的内外径的差等于半球体触头(6)的半径；柔性腔体(1)的外径与柔性基底(2)的直径尺寸一致。

4.根据权利要求1所述的一种全柔性电容式三维力触觉传感器，其特征是：所述的半球体触头(6)采用聚二甲基硅氧烷制成。

5.根据权利要求1或4所述的一种全柔性电容式三维力触觉传感器，其特征是：所述的柔性腔体(1)、柔性基底(2)以及半圆环形凹槽(5)均采用硅橡胶材料制成。

6.根据权利要求5所述的一种全柔性电容式三维力触觉传感器，其特征是：所述的柔性电极均以石墨烯/银纳米颗粒/硅橡胶的导电复合材料来制备。