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专利号: 2019212994209
申请人: 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种集成电路无尘车间的钢板型防震基座,包括支撑板(1),其特征在于:所述支撑板(1)下端连接有若干均匀分布的控制装置(2),所述控制装置(2)包括卡位柱(3)、支撑柱(4)、三角底座(5)、保护壳(6)、定位环(7)、形变体(8)和抗压座(9),所述卡位柱(3)形状为圆柱且圆柱一端底面中部开设有柱状凹槽,卡位柱(3)的凹槽中均匀环设有三个支撑柱(4),所述支撑柱(4)下端固定连接有三角底座(5),所述卡位柱(3)的外壁上固定环设有保护壳(6),所述保护壳(6)的内腔中环设有定位环(7),所述定位环(7)内壁和卡位柱(3)固定连接,所述保护壳(6)和定位环(7)之间设置有若干均匀分布的形变体(8)和抗压座(9),所述形变体(8)和抗压座(9)均匀交替排列,所述支撑板(1)下板面上开设有控制槽(10),所述卡位柱(3)上端延伸到控制槽(10)中。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路无尘车间的钢板型防震基座,其特征在于:所述抗压座(9)包括两个对接的支撑桩(11)和拦截柱(12),所述支撑桩(11)形状为圆柱且圆柱一端为斜切面,两个支撑桩(11)的斜切面对贴在一起,支撑桩(11)的斜切面上开设有柱状凹槽,拦截柱(12)位于支撑桩(11)的柱状凹槽中。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路无尘车间的钢板型防震基座,其特征在于:所述形变体(8)形状为若干S型弯折杆首尾一体连接,保护壳(6)圆环状且圆环的截断面为半圆形,定位环(7)形状为弧形弯曲板,且板体首尾连接成环状,形变体(8)的一端固定嵌入到保护壳(6)中,形变体(8)的另一端固定嵌入到定位环(7)中。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路无尘车间的钢板型防震基座,其特征在于:所述控制槽(10)形状为圆柱凹槽,且凹槽的开口端为收口结构,所述支撑柱(4)形状为弯折柱体,支撑柱(4)柱体的截断面为三分之一的圆状。