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专利号: 201921299436X
申请人: 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种集成电路无尘车间机台脚式横梁载重基座,包括横梁(1),其特征在于:所述横梁(1)为网格框架形状,横梁(1)的下端设置有若干均匀分布的支撑脚(2),所述支撑脚(2)包括控制座(3)、支撑装置(4)和底板(5),控制座(3)的上端和横梁(1)连接,控制座(3)的下端设置有方形板状的底板(5),控制座(3)和底板(5)之间设置有若干均匀分布的支撑装置(4),所述支撑装置(4)包括卡位柱(6)、承重块(7)和控制装置(8),所述承重块(7)形状为圆柱且圆柱一端底面中部开设有柱状凹槽,承重块(7)的凹槽中设置有卡位柱(6),所述卡位柱(6)的周围环设有控制装置(8),控制装置(8)设置有承重块(7)中,控制装置(8)部分延伸到卡位柱(6)中,所述控制装置(8)包括转盘(10)、定位滑柱(11)、齿轮(12)、丝杆(13)和卡位座(14),所述转盘(10)形状为圆筒状且圆筒内壁上开设有T型环状凹槽,转盘(10)的T型环状凹槽设置有定位滑柱(11),所述定位滑柱(11)内壁和承重块(7)外壁固定连接,转盘(10)的下端设置有齿轮(12),转盘(10)的下底面上固定环设有若干均匀分布的凸出齿,凸出齿为三棱柱状,转盘(10)上的凸出齿和齿轮(12)啮合连接,齿轮(12)的中部固定连接有丝杆(13),丝杆(13)一端延伸到承重块(7)中,承重块(7)中设置有卡位座(14),丝杆(13)一端延伸到卡位座(14)中。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路无尘车间机台脚式横梁载重基座,其特征在于:

所述承重块(7)的圆柱凹槽内壁上开设有控制槽(9),卡位座(14)设置有控制槽(9)中,卡位座(14)形状为方形板一端一体连接弧形柱,卡位座(14)的弧形柱截断面为三角形,卡位柱(6)的外壁上开设有卡槽(15)。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路无尘车间机台脚式横梁载重基座,其特征在于:

所述卡位座(14)上开设有螺纹孔,丝杆(13)一端延伸到卡位座(14)的螺纹孔中,彼此螺纹连接,丝杆(13)贯穿承重块(7)上嵌入的轴承。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路无尘车间机台脚式横梁载重基座,其特征在于:

相邻的两个支撑装置(4)之间连接方式具体为,一个支撑装置(4)上的卡位柱(6)与另一个支撑装置(4)上的承重块(7)中心轴共线,且卡位柱(6)的底面端和承重块(7)的底面端固定连接,控制座(3)的形状为圆柱且圆柱上底面开设有十字型凹槽,横梁(1)的网格交叉部分和控制座(3)的凹槽契合。